新規なコポリマーとコポリマー樹脂バインダー成分からなるフォトレジスト組成物

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐伯憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-295430
公開番号（公開出願番号）：特開2002-161118
出願日： 1997年06月11日
公開日（公表日）： 2002年06月04日
要約：

【要約】【課題】本発明は、新規な共重合体及び該共重合体を樹脂バインダ成分として含有するフォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】本発明の好ましい共重合体は、三つの明確に区別しうる繰り返し単位:即ち、(1)酸活性基を含有する単位、(2)反応性部分及びヒドロキシ部分を含有しない単位、及び(3)樹脂バインダとして該共重合体を含有するフォトレジストの水性現像に寄与する単位を含むものである。本発明のフォトレジストにより、プラズマエッチング耐性や孤立ライン特性の著しい向上並びに解像度の良好な制御など、リソグラフィー性能の驚くべき改良がなされる。

請求項（抜粋）：

次式【化1】(式中、x,y及びzはコポリマーを構成する各単位のモル分率を示し、xは65〜75%、yは10〜20%、zは10〜20%である。)で表されるコポリマー。

IPC (3件)：

C08F212/14 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (3件)：

C08F212/14 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (21件)：

2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA41 , 4J100AB02Q , 4J100AB07P , 4J100AL03R , 4J100BA03P , 4J100CA03 , 4J100CA05 , 4J100JA01 , 4J100JA03 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (5件)

感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-270332 出願人：日本合成ゴム株式会社
レジスト材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-071337 出願人：信越化学工業株式会社
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-245299 出願人：株式会社東芝

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