特許

J-GLOBAL ID：200903005454862624

感光性樹脂組成物シート

発明者： 原 義豪 ,  野中 敏央 ,  松本 悠
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-123066
公開番号（公開出願番号）：特開2008-281597
出願日： 2007年05月08日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：

【課題】適度な剥離性・密着性・可撓性を有し作業性に優れ、フォトリソグラフィーにより容易に高解像度のパターンを形成することができる感光性樹脂組成物シートを提供する。【解決手段】支持体上に感光性樹脂組成物膜を有する感光性樹脂組成物シートであって、該感光性樹脂組成物膜が、(a)主鎖末端に、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびチオール基からなる群より選ばれる少なくとも一つの基を有するポリイミド、(b1)一般式(1)で表される不飽和結合含有重合性化合物、(c)光重合開始剤および(d)溶剤を含有し、溶剤含有量が感光性樹脂組成物膜中9重量%以上14重量%以下である感光性樹脂組成物シート。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

支持体上に感光性樹脂組成物膜を有する感光性樹脂組成物シートであって、該感光性樹脂組成物膜が、(a)主鎖末端に、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびチオール基からなる群より選ばれる少なくとも一つの基を有するポリイミド、(b1)一般式(1)で表される不飽和結合含有重合性化合物、(c)光重合開始剤および(d)溶剤を含有し、溶剤含有量が感光性樹脂組成物膜中9重量%以上14重量%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物シート。

IPC (5件)：

G03F 7/027 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/09 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F7/027 501 ,  G03F7/037 ,  G03F7/09 501 ,  G03F7/004 512 ,  H01L21/30 502R

Fターム (13件)：

2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC14 ,  2H025BC43 ,  2H025CA07 ,  2H025DA17 ,  2H025EA08 ,  2H025FA17

引用特許：

出願人引用 (4件)

• アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物及び感光性ドライフィルムレジスト、並びにその利用
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-117947   出願人：鐘淵化学工業株式会社
• エポキシ変性ポリイミドおよび、これを用いた感光性組成物、カバーレイフィルム、ソルダーレジスト、プリント配線板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-396893   出願人：鐘淵化学工業株式会社
• 感光性ドライフィルムレジスト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-347891   出願人：鐘淵化学工業株式会社
• 剥離作業性に優れた感光性カバーレイフィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-335928   出願人：鐘淵化学工業株式会社