特許
J-GLOBAL ID：200903005776110520
樹脂混合物を含むフォトレジスト組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
千田 稔
, 橋本 幸治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-009643
公開番号（公開出願番号）：特開2006-201778
出願日： 2006年01月18日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：
【課題】新規なフォトレジスト組成物の提供【解決手段】光活性成分並びに少なくとも2種の異なる樹脂、即ち、i)ヘテロ置換基(特に、ヒドロキシ又はチオ)を有する炭素環式アリール単位を含む第一樹脂及びii)第二架橋樹脂の混合物を含有する、新規なポジ型フォトレジスト組成物が提供される。本発明の好ましいフォトレジストは、短波長、例えば200nm未満、特に193nmで画像形成することができる。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
1)光活性成分、並びに
2)i)ヘテロ置換炭素環式アリール基を含む第一樹脂、及び
ii)第一樹脂とは異なる、架橋した基を含む第二樹脂
を含む樹脂成分
を含む、ポジ型フォトレジスト組成物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/039 601
, H01L21/30 502R
2H025AA03
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025CB45
, 2H025CC20
, 2H025FA17
出願人引用 (3件)
-
米国特許出願公開第2002/0012869号明細書
-
米国特許出願公開第2004/0038150号明細書
-
米国特許出願公開第2004/0053511号明細書
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
