特許
J-GLOBAL ID:200903005852118048

積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにそれを備えるガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 小島 清路 ,  谷口 直也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-003502
公開番号(公開出願番号):特開2005-195516
出願日: 2004年01月08日
公開日(公表日): 2005年07月21日
要約:
【課題】 耐被水性に優れる積層型ガスセンサ素子、この素子を効率よく製造する方法、及びこの素子を備えるガスセンサを提供する。【解決手段】 本発明の積層型ガスセンサ素子は、内部に発熱抵抗体が埋設されたセラミック基体と、セラミック基体に積層されるとともに、一端側に一対の電極を配設した検出部が形成された検出素子とを有し、長手方向に延びる板状の素子本体を備え、素子本体が、検出部を含む一端部において幅狭になっており、この部分における側面及び一端面に第1多孔質層が形成されている。また、本発明の積層型ガスセンサ素子の製造方法は、未焼成シート積層体の検出部を含む一端部の側面及び一端面となる部位に貫通孔を設ける工程と、貫通孔に第1多孔質層用ペーストを充填する工程(未焼成多孔質層131’の形成)と、未焼成素子を切り出す工程と、これを焼成する工程と、をこの順に備える。【選択図】 図9
請求項(抜粋):
内部に発熱抵抗体が埋設されたセラミック基体と、該セラミック基体に積層されるとともに、一端側に一対の電極を配設した検出部が形成された検出素子とを有し、長手方向に延びる板状の素子本体を備える積層型ガスセンサ素子において、 該素子本体が、該素子本体の上記検出部を含む一端部において幅狭になっており、該幅狭となった部分における該素子本体の少なくとも側面及び一端面に第1多孔質層が形成されていることを特徴とする積層型ガスセンサ素子。
IPC (2件):
G01N27/409 ,  G01N27/416
FI (3件):
G01N27/58 B ,  G01N27/46 371G ,  G01N27/46 331
Fターム (15件):
2G004BB04 ,  2G004BC03 ,  2G004BD04 ,  2G004BE13 ,  2G004BE22 ,  2G004BF04 ,  2G004BF05 ,  2G004BF08 ,  2G004BF09 ,  2G004BF18 ,  2G004BF27 ,  2G004BG05 ,  2G004BJ03 ,  2G004BM04 ,  2G004BM07
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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