特許
J-GLOBAL ID：200903005928856469

ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法

発明者：
藤原 康裕

藤原 康裕 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-110833
公開番号（公開出願番号）：特開2008-270491
出願日： 2007年04月19日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：
【課題】 ステージの加減速によって発生するるステージの変形に起因する、ステージに保持される物品の変形を低減する。【解決手段】 本発明は、ステージを有し、ステージを少なくとも第1方向に移動させるステージ装置であって、第1方向に延びるようにステージに固定された保持部を備える。保持部は、物品を保持する保持面を有する第1部分と、第1部分とステージとの間に配置された第2部分とを含み、第1方向における第2部分の長さは第1部分の長さ未満である。【選択図】図5a
請求項（抜粋）：
ステージを有し、前記ステージを少なくとも第1方向に移動させるステージ装置であって、 前記第1方向に延びるように前記ステージに固定された保持部を備え、 前記保持部は、物品を保持する保持面を有する第1部分と、前記第1部分と前記ステージとの間に配置された第2部分とを含み、 前記第1方向における前記第2部分の長さは前記第1部分の長さ未満であることを特徴とするステージ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
H01L21/30 503A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K
Fターム (10件)：
5F031CA07 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA55 ,  5F031KA05 ,  5F031MA27 ,  5F031PA11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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