特許
J-GLOBAL ID：200903022759226290

ステージ装置、該ステージ装置を用いた露光装置および該露光装置を用いたデバイス製造方法

発明者：
宮島 義一

宮島 義一 について

, 
田中 英雄

田中 英雄 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-324214
公開番号（公開出願番号）：特開2005-093654
出願日： 2003年09月17日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【課題】マスクチャックのメンテナンスを容易にするため、マスクチャックを着脱可能にする吸着手段を設けてマスクチャックの変形を回避する。【解決手段】 コイル鉄心7と強磁性体5とからなる吸着手段をマスクチャック1側とマスクステージ2側とに分離して設け、マスクステージ2側に設けたコイル鉄心7をマスクチャック1よりも剛性の低い板バネ6を介して取り付ける。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
所定方向へ移動するステージと、基板を吸着保持する基板保持部材と、該基板保持部材を前記ステージに吸着保持させる吸着手段とを備えたステージ装置であって、 前記吸着手段は、前記基板保持部材の剛性よりも低い剛性で該基板保持部材を前記ステージに吸着保持させることを特徴とするステージ装置。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68
FI (6件)：
H01L21/30 503A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K ,  H01L21/68 R ,  H01L21/30 515G ,  H01L21/30 515F
Fターム (22件)：
5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA16 ,  5F031HA18 ,  5F031HA19 ,  5F031HA38 ,  5F031HA80 ,  5F031JA08 ,  5F031JA17 ,  5F031JA45 ,  5F031MA27 ,  5F031PA06 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC08 ,  5F046CC09 ,  5F046DA06 ,  5F046DB04 ,  5F046DC05
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特許第3076727号公報
  • 電子ビーム露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-342260   出願人：株式会社東京精密
  • 露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-091908   出願人：日本電産シンポ株式会社, ソニー株式会社
審査官引用 (8件)
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