窒化珪素質放熱部材及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-215842
公開番号（公開出願番号）：特開2000-044351
出願日： 1998年07月30日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：

【要約】【課題】1800°C以下の低温で焼成可能であって、且つ高熱伝導性および高強度を有する窒化珪素質放熱部材とその製造方法を提供する。【解決手段】窒化珪素(Si3 N4 )を主成分とし、希土類元素およびMgを酸化物換算による合量で4〜30モル%、希土類金属(RE)とMgを酸化物換算のモル比(RE2 O3 /MgO)が0.1〜15となる比率で含有するとともに、Alの酸化物換算量が1モル%以下の相対密度が48〜56%の成形体を、1500〜1800°Cの非酸化性雰囲気中で焼成して、相対密度90%以上に緻密化して、焼結体の切断面における窒化珪素結晶の平均長軸径が0.5〜3μmの熱伝導率50W/m・K、強度600MPa以上の窒化珪素質放熱部材を得ることができる。

請求項（抜粋）：

窒化珪素(Si3 N4 )を主成分とし、希土類元素およびMgを酸化物換算による合量で4〜30モル%、希土類金属(RE)とMgを酸化物換算のモル比(RE2 O3 /MgO)が0.1〜15となる比率で含有するとともに、Alの酸化物換算量が1モル%以下、相対密度が90%以上であり、且つ切断面における窒化珪素結晶の平均長軸径が0.5〜3μmの焼結体からなることを特徴とする窒化珪素質放熱部材。

IPC (4件)：

C04B 35/584 , H01L 23/08 , H01L 23/373 , H05K 1/03 610

FI (4件)：

C04B 35/58 102 D , H01L 23/08 D , H05K 1/03 610 D , H01L 23/36 M

Fターム (21件)：

4G001BA03 , 4G001BA06 , 4G001BA08 , 4G001BA32 , 4G001BA73 , 4G001BB03 , 4G001BB06 , 4G001BB08 , 4G001BB32 , 4G001BC17 , 4G001BC31 , 4G001BC52 , 4G001BC53 , 4G001BD03 , 4G001BD13 , 4G001BD14 , 4G001BE22 , 4G001BE33 , 5F036AA01 , 5F036BB08 , 5F036BD14

引用特許：

審査官引用 (7件)

窒化珪素質放熱部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-352949 出願人：京セラ株式会社
窒化珪素質放熱部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-116964 出願人：京セラ株式会社
回路基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-319369 出願人：電気化学工業株式会社

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