板材の搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人岡田国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-022558
公開番号（公開出願番号）：特開2007-204181
出願日： 2006年01月31日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】例えば、液晶パネルの製作に用いられる薄板形状のガラス板(板材)を収納棚に対して搬出入するための搬送装置であって、複数枚の板材を一度に把持して搬送する場合に、把持ピッチを切り換えて異なる収納ピッチの収納棚に対して搬出入できる搬送装置を提供する。【解決手段】板材を把持する第2〜第5把持板32a〜35aを第1把持板31aに対して相互に独立して板厚方向に移動可能に支持し、これら第2〜第5把持板32a〜35aに対して共通のレバー片40aを係合させて、作動シリンダ50の伸縮作動に伴うレバー片40aを傾動動作により得られる上下方向の変位成分を利用して第2〜第5把持板32a〜35aの間隔を変更する構成とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の板材をその板厚方向に並列に収納した収納棚に対して当該板材を複数一度に搬出入する搬送装置であって、前記複数の板材を板厚方向に並列状態で保持する把持装置を備え、該把持装置は、前記板材を一枚ずつ把持する複数の把持板と、該複数の把持板の板厚方向のピッチを変更するピッチ可変機構を備え、該ピッチ可変機構は、前記複数の保持板に対してそれぞれ板厚方向に係合された共通の作動レバーを回動させてその板厚方向の変位成分により前記複数の保持板間のピッチを変更する構成とした搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 49/06 , B65G 1/00 , H01L 21/677

FI (4件)：

B65G49/06 Z , B65G1/00 537B , B65G1/00 549 , H01L21/68 A

Fターム (15件)：

3F022AA07 , 3F022AA08 , 3F022CC02 , 3F022DD01 , 3F022EE05 , 3F022KK10 , 3F022KK20 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031FA25 , 5F031GA03 , 5F031PA02 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

ウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-161878 出願人：三洋電機株式会社

審査官引用 (5件)

特開平2-276261
ピッチ変換装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-354015 出願人：エム・シー・エレクトロニクス株式会社
半導体ウエハ移送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-016896 出願人：ウインテック

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