特許
J-GLOBAL ID：200903047526794852

基板保持装置

発明者：
小田 志朗

小田 志朗 について

, 
後藤 博彦

後藤 博彦 について


出願人/特許権者：
川崎重工業株式会社

川崎重工業株式会社 について


代理人 (3件)： 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-349628
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116807
出願日： 2003年10月08日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】 並んで配置される基板の配置状態が変動した場合であっても、基板を確実に保持する基板保持装置を提供する。【解決手段】 制御手段32が各半導体ウェハ22の配置状態を示すマッピング情報に基づいて、連動モータ32を制御し、リンク機構31によって第2および第3保持体30b,30cを連動させる。これによって各保持体30は、複数の半導体ウェハ22をそれぞれ保持可能な位置に変位する。変位した各保持体30は、上下方向Zに並んで配置される半導体ウェハ22の間に進入し、半導体ウェハ22を保持する。各保持体30は、複数の半導体ウェハ22を保持するにあたって、その各半導体ウェハ22の配置状態に応じた位置に調整されており、各半導体ウェハ22の配置状態が変動する場合であっても、確実に複数の半導体ウェハ22を同時に保持することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
予め定める並列方向に並んで配置され、並列方向へ変位自在に設けられ、基板を保持する複数の保持体と、 各保持体を並列方向に連動させ、各保持体の並列方向の間隔を変化させる連動機構と、 各保持体を少なくとも並列方向に変位駆動する駆動手段と、 並列方向に並んで配置される各基板の配置状態を示すマッピング情報に基づいて、各基板を保持可能な位置に各保持体を変位させるように駆動手段を制御する制御手段とを含むことを特徴とする基板保持装置。
IPC (4件)：
H01L21/68 ,  B25J15/00 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07
FI (5件)：
H01L21/68 D ,  H01L21/68 F ,  B25J15/00 D ,  B25J15/08 U ,  B65G49/07 C
Fターム (43件)：
3C007AS24 ,  3C007BS02 ,  3C007DS06 ,  3C007DS10 ,  3C007ES17 ,  3C007HS27 ,  3C007HT02 ,  3C007HT12 ,  3C007HT21 ,  3C007HT40 ,  3C007KS03 ,  3C007KV12 ,  3C007KX07 ,  3C007LV03 ,  3C007LV04 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA24 ,  5F031FA25 ,  5F031GA03 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031JA05 ,  5F031JA13 ,  5F031JA15 ,  5F031JA23 ,  5F031JA25 ,  5F031JA27 ,  5F031JA51 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 薄板状部材移載装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-341634   出願人：光洋サーモシステム株式会社
審査官引用 (7件)
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