アライメント方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：開口宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-133722
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323399
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】補正計算時にアライメントマーク数が、異常値除去操作によって減少するを防ぎ、補正計算が誤差拡大を招くことを防いだアライメント方法の精度向上ルーチンを提供する。【解決手段】アライメントマークの位置誤差評価に「平均値との差」という相対的基準を用いると共に、異常値判断されたショットについて複数回の再計測を行って評価し、それでも設定精度を満たせない場合は重み付けをして補正計算に与える影響を抑える操作をすることによって、補正計算時に計算項としてのアライメントマーク数が減少することを防ぐ構成のアライメント方法を提供した。

請求項（抜粋）：

ウェハ上に形成されたショットについて設計値からの位置誤差を光学的に計測して、統計的手法によって前記誤差を最小にするショット補正値を求めるアライメント方法において、各ショット内に形成されたアライメントマークと設計されたレチクルパターンとの位置誤差を計測した後、前記位置誤差の平均値との差を求めて評価を行い、予め設定された基準精度に満たないアライメントマークを有するショットに対して前記評価に基づいた操作を行うことによって、ショット補正値を求める統計処理計算に際して過剰影響を与える要素を抑えて、当初選択されたアライメント計測ショットの総数とショット配列補正計算時にデータが計算項として用いられる計測ショットの総数を同一に保持したことを特徴とするアライメント方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00 , H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/30 525 D , G03F 9/00 H , H01L 21/68 F , H01L 21/30 525 W , H01L 21/30 525 X

Fターム (8件)：

5F031CA02 , 5F031CA07 , 5F031JA38 , 5F031JA50 , 5F031MA27 , 5F046BA03 , 5F046ED01 , 5F046FC04

引用特許：

出願人引用 (7件)

露光装置及び露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-129151 出願人：株式会社ニコン
位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-047493 出願人：株式会社ニコン
位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-094560 出願人：株式会社ニコン

全件表示

審査官引用 (6件)

露光装置及び露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-129151 出願人：株式会社ニコン
位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-047493 出願人：株式会社ニコン
位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-094560 出願人：株式会社ニコン

全件表示

前のページに戻る