特許
J-GLOBAL ID：200903006151779607
高沸点物質の光イオン化質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-089485
公開番号（公開出願番号）：特開2005-276679
出願日： 2004年03月25日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 正確で再現性の良いイオン収量曲線を短時間かつ自動的に取得するため高沸点物質の光イオン化質量分析装置を提供する。【解決手段】 本発明の装置は、試料炉1、質量分析計、膜厚計6、光ダイオード検出器から構成されていて、試料を加熱してイオン化室に気体の中性状態で導入し、10kHzのパルス押出し法によって飛行時間分解質量スペクトルを測定し、高速多チャネルスケーラと中枢コンピュータでデータを収集・処理した。その結果、光子エネルギー(波長)を連続的に変えながら質量スペクトルを取得し、しかも、任意の3種類のイオンについて、自動的にイオン収量曲線を測定することが可能となった。その際、イオン化領域での試料濃度と光フラックスを常に監視し、それらの値をコンピュータに転送してイオン収量を規格化した。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料炉、質量分析計、膜厚計、光ダイオード検出器、高速多チャネルスケーラ及びデータ処理手段から構成され、前記試料炉で試料を加熱して前記イオン化室に気体の中性状態で導入し、極端紫外光でイオン化し、パルス押出し法によって飛行時間分解質量スペクトルを測定し、高速多チャネルスケーラと前記データ処理手段でデータを収集・処理し、極端紫外光のエネルギー(波長)掃引と同期させながらイオンの信号強度、試料濃度、光量を測定し、正確なイオン収量曲線を得ることを特徴とする高沸点物質の光イオン化質量分析装置。
IPC (4件)：
H01J49/10
, G01N27/62
, G01N27/64
, H01J49/40
H01J49/10
, G01N27/62 D
, G01N27/62 V
, G01N27/64 B
, H01J49/40
5C038GG07
, 5C038GH04
, 5C038GH06
, 5C038GH15
