特許
J-GLOBAL ID：200903006376579216

透明電極、透明導電性基板および透明タッチパネル

発明者：
阿部 能之

阿部 能之 について

, 
中山 徳行

中山 徳行 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (1件)： 河備 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-066608
公開番号（公開出願番号）：特開2009-224152
出願日： 2008年03月14日
公開日（公表日）： 2009年10月01日
要約：
【課題】膜厚が極めて薄く耐熱性に優れた透明電極、透明導電性基板および透明タッチパネルを提供する。【解決手段】基板(C)上に、酸化インジウムを主成分とする結晶性透明導電膜(A)と酸化インジウムを主成分とする非晶質性透明導電膜(B)がスパッタリング法によって順次形成された積層構造の透明電極であって、結晶性透明導電膜(A)は膜厚が5〜40nmであり、非晶質透明導電膜(B)は膜厚が2〜10nmであり、表面抵抗が70〜3000Ω/□であることを特徴とする透明電極;前記透明電極が、透明基板の表面に形成されてなる透明導電性基板;前記透明導電性基板を用いて得られた透明タッチパネルなどによって提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板(C)上に、酸化インジウムを主成分とする結晶性透明導電膜(A)と酸化インジウムを主成分とする非晶質性透明導電膜(B)が順次形成された積層構造の透明電極であって、結晶性透明導電膜(A)は膜厚が5〜40nmであり、非晶質透明導電膜(B)は膜厚が2〜10nmであり、表面抵抗が70〜3000Ω/□であることを特徴とする透明電極。
IPC (4件)：
H01B 5/14 ,  B32B 7/02 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/08
FI (6件)：
H01B5/14 A ,  B32B7/02 103 ,  B32B7/02 104 ,  B32B9/00 A ,  C23C14/08 D ,  C23C14/08 N
Fターム (57件)：
4F100AA17A ,  4F100AA17B ,  4F100AA20B ,  4F100AA21A ,  4F100AA25B ,  4F100AA26B ,  4F100AA28A ,  4F100AA33A ,  4F100AG00C ,  4F100AK01C ,  4F100AT00C ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100EH66A ,  4F100EH66B ,  4F100GB41 ,  4F100JA11A ,  4F100JA12B ,  4F100JB04B ,  4F100JG01A ,  4F100JG01B ,  4F100JG04A ,  4F100JG04B ,  4F100JJ03A ,  4F100JJ03B ,  4F100JJ03C ,  4F100JM02A ,  4F100JM02B ,  4F100JN01A ,  4F100JN01B ,  4F100JN01C ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029AA25 ,  4K029BA45 ,  4K029BB02 ,  4K029BC09 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC16 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39 ,  4K029EA01 ,  4K029EA08 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC06 ,  5G307FC09 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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