特許
J-GLOBAL ID：200903006397859790
アラインメントデバイス及び複数のマスクセグメントをアラインする方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-342116
公開番号（公開出願番号）：特開2003-249356
出願日： 2002年11月26日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：
【要約】【課題】 蒸着マスクによるOLEDデバイス製造の処理量を高めること。【解決手段】 (a)第1組のアラインメントピンと第2組のアラインメントピンとを有するベースと、(b)該ベースに固定されたプレートと、(c)該プレートにアラインされた開口部を有するフレームであって、該フレームが該ベースに着脱可能に搭載されるよう該第1組のアラインメントピンの位置に対応する該第1組のアラインメントピンを受容する孔を備えて形成されたフレームと、(d)該プレートの上に配置された、該蒸着マスクを画定する複数のマスクセグメントと、(e)該第2組のアラインメントピン及び該蒸着マスクに接し、かつ、該蒸着マスクのセグメントが露出されるようなサイズを有する透明平板と、(f)該マスクセグメントを互いに固定するための手段と、(g)該蒸着マスクを該フレームに固定するための手段とを含んでなる有機発光デバイス製造用アラインメントデバイス。
請求項（抜粋）：
有機発光デバイスの一部となる基板の上への有機材料の同時蒸着を簡易化するため該基板に対して複数のマスクセグメントを有する蒸着マスクを配置することを可能にするアラインメントデバイスであって、(a) 第1組のアラインメントピンと第2組のアラインメントピンとを有するベースと、(b) 該ベースに固定されたプレートと、(c) 該プレートにアラインされた開口部を有するフレームであって、該フレームが該ベースに着脱可能に搭載されるよう該第1組のアラインメントピンの位置に対応する該第1組のアラインメントピンを受容する孔を備えて形成されたフレームと、(d) 該プレートの上に配置された、該蒸着マスクを画定する複数のマスクセグメントと、(e) 該第2組のアラインメントピン及び該蒸着マスクに接し、かつ、該蒸着マスクのセグメントが露出されるようなサイズを有する透明平板と、(f) 該マスクセグメントを互いに固定するための手段と、(g) 該蒸着マスクを該フレームに固定するための手段とを含んでなるアラインメントデバイス。
IPC (4件)：
H05B 33/10
, C23C 14/04
, C23C 14/24
, H05B 33/14
H05B 33/10
, C23C 14/04 A
, C23C 14/24 G
, H05B 33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029BA62
, 4K029BD01
, 4K029CA01
, 4K029HA04
