特許
J-GLOBAL ID：200903006638605388

DLC膜の硬度推定装置及び硬度推定方法

発明者：
吉田 聡

吉田 聡 について

, 
小森 健太郎

小森 健太郎 について

, 
小川 和美

小川 和美 について

, 
廣嶋 晶

廣嶋 晶 について


出願人/特許権者：
本田技研工業株式会社

本田技研工業株式会社 について


代理人 (2件)： 磯野 道造 ,  多田 悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-298393
公開番号（公開出願番号）：特開2008-116268
出願日： 2006年11月02日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：
【課題】DLC膜の品質管理等に応用可能であり、非破壊でDLC膜の硬度を推定できるDLC膜の硬度推定装置及び硬度推定方法を提供する。【解決手段】レーザーラマン分光法によりDLC膜のGバンド波形の幅を取得する、レーザーラマン分光装置2と、DLC膜のレーザーラマン分光法によるGバンド波形の幅と、DLC膜の硬度と、が関連付けられたデータベースが記憶されたデータベース記憶手段3と、レーザーラマン分光装置2が取得したDLC膜のGバンド波形の幅と、データベースと、に基づいて、DLC膜の硬度を推定する推定手段4と、を備えたDLC膜の硬度推定装置1である。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
レーザーラマン分光法によりDLC膜のGバンド波形の幅を取得する、Gバンド波形幅取得手段と、 DLC膜のレーザーラマン分光法によるGバンド波形の幅と、DLC膜の硬度と、が関連付けられたデータベースと、 前記Gバンド波形幅取得手段が取得したDLC膜のGバンド波形の幅と、前記データベースと、に基づいて、DLC膜の硬度を推定する推定手段と、 を備えたことを特徴とするDLC膜の硬度推定装置。
IPC (2件)：
G01N 21/65 ,  G01N 3/42
FI (2件)：
G01N21/65 ,  G01N3/42 Z
Fターム (10件)：
2G043AA03 ,  2G043CA07 ,  2G043EA03 ,  2G043GA25 ,  2G043GB28 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043KA09 ,  2G043NA01 ,  2G043NA06
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特許第3612098号公報
  • 特許第3764742号公報
審査官引用 (3件)
引用文献：
審査官引用 (3件)

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