特許

J-GLOBAL ID：200903006641846523

クロムエッチング液

発明者： 小松 利夫 ,  高嵜 在
出願人/特許権者： ザ・インクテック株式会社
代理人 (1件)： 吉田 勝広 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-280232
公開番号（公開出願番号）：特開2002-167681
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：

【要約】【課題】 従来のクロムエッチング液よりも、液濁りの経時変化がなく、保存安定性に優れ、かつ、エッチング時に、エッチング疲労がなく、エッチング精度およびジャストエッチタイム性が優れたエッチング液の提供。【解決手段】 硝酸第2セリウムアンモニウムの16重量%〜30重量%と、硝酸の2重量%以上5重量%未満を含有することを特徴とするエッチング液。

請求項（抜粋）：

硝酸第2セリウムアンモニウムの16重量%〜30重量%と、硝酸の2重量%以上5重量%未満とを含有することを特徴とするクロムエッチング液。

Fターム (6件)：

4K057WA10 ,  4K057WA11 ,  4K057WB01 ,  4K057WE02 ,  4K057WE11 ,  4K057WG10

引用特許：

審査官引用 (10件)

• エッチング液組成物およびクロム材薄膜のエッチング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-096063   出願人：ザ・インクテック株式会社
• クロム膜のエッチング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-294365   出願人：鹿児島日本電気株式会社
• 特開平2-285081
  
• ウェットエッチング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-003000   出願人：鹿児島日本電気株式会社
• Cr膜のエッチング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-076811   出願人：三洋電機株式会社
• 特開昭52-153494
  
• 新規な組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-296190   出願人：和光純薬工業株式会社
• 特公平7-007757
  
• 特公昭63-045461
  
• 特許第2550048号