特許
J-GLOBAL ID:200903006911088669
球状セラミックス微粒子及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 永坂 友康
, 西山 雅也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-271955
公開番号(公開出願番号):特開2007-084354
出願日: 2005年09月20日
公開日(公表日): 2007年04月05日
要約:
【課題】 半導体封止材用のフィラー、或いは機械部品や電子部品製造のための焼結用原料等に有用な、高純度で単分散の球状セラミックス微粒子とその製造方法を提供する。【解決手段】 平均粒径が50〜100,000nmの範囲で、且つ真球度が0.9〜1.0の範囲にある球状セラミックス微粒子。粒子径変動係数(CV値)が20%以下である球状セラミックス微粒子。(a)該球状セラミックス微粒子を構成する金属元素及び/又は半金属元素を含む前駆体高分子を製造する工程と、(b)前記前駆体高分子を貧溶媒と混合し加熱することで溶解させた後、該溶液を冷却することで前記前駆体高分子を析出させ、該析出物を濾別することで前記球状前駆体高分子の微粒子を得る工程と、(c)前記球状前駆体高分子の微粒子を不活性ガス中或いは酸素を含む雰囲気中で焼成する工程とを有することを特徴とする球状セラミックス微粒子の製造方法。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
球状セラミックス微粒子の製造法であって、
(a)該球状セラミックス微粒子を構成する金属元素及び/又は半金属元素を含む前駆体高分子を製造する工程と、
(b)前記前駆体高分子を貧溶媒と混合し加熱することで溶解させた後、該溶液を冷却することで前記前駆体高分子を析出させ、該析出物を濾別することで前記球状前駆体高分子の微粒子を得る工程と、
(c)前記球状前駆体高分子の微粒子を不活性ガス中或いは酸素を含む雰囲気中で焼成する工程とを有することを特徴とする球状セラミックス微粒子の製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (43件):
4G030AA02
, 4G030AA07
, 4G030AA08
, 4G030AA09
, 4G030AA10
, 4G030AA11
, 4G030AA12
, 4G030AA13
, 4G030AA14
, 4G030AA16
, 4G030AA17
, 4G030AA19
, 4G030AA20
, 4G030AA22
, 4G030AA23
, 4G030AA25
, 4G030AA27
, 4G030AA28
, 4G030AA29
, 4G030AA31
, 4G030AA32
, 4G030AA33
, 4G030AA34
, 4G030AA35
, 4G030AA36
, 4G030AA37
, 4G030AA39
, 4G030AA40
, 4G030AA41
, 4G030AA42
, 4G030AA43
, 4G030AA44
, 4G030AA67
, 4G030BA01
, 4G030BA18
, 4G030BA32
, 4G030CA04
, 4G030GA01
, 4G030GA12
, 4G030GA14
, 4G030GA17
, 4G030GA24
, 4G030GA25
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (8件)
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引用文献:
出願人引用 (1件)
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Hansen溶解度パラメータを使ったポリマーの溶媒探索
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