特許
J-GLOBAL ID：200903007057507616

薄膜圧電共振器、フィルタ及び薄膜圧電共振器の製造方法

発明者：
▲もたい▼ 貴子

▲もたい▼ 貴子 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (7件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-218937
公開番号（公開出願番号）：特開2007-036829
出願日： 2005年07月28日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】 空洞の破壊を防止し、共振周波数を高精度に調整できる封止構造を備えた薄膜圧電共振器を提供する。【解決手段】 表面に空洞を有する基板10と、基板10上から空洞30上に延びる下部電極12と、下部電極12上に設けられた圧電膜14と、下部電極12と対向し圧電膜14上に配置され、更に圧電膜14上から基板10上に延びる上部電極16と、下部電極12及び上部電極16が対向する領域で規定される共振部を内側に含み、空洞30から延在する開口部42が外側に位置するように基板10上に設けられ、共振部を封止する封止部材とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面に空洞を有する基板と、 前記基板上から前記空洞上に延びる下部電極と、 前記下部電極上に設けられた圧電膜と、 前記下部電極と対向し、前記圧電膜上に配置され、更に前記圧電膜上から前記基板上に延びる上部電極と、 前記下部電極及び前記上部電極が対向する領域で規定される共振部を内側に含み、前記空洞への開口部が外側に位置するように前記基板上に設けられ、前記共振部を封止する封止部材 とを備えることを特徴とする薄膜圧電共振器。
IPC (4件)：
H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/58
FI (5件)：
H03H9/17 F ,  H03H3/02 B ,  H03H3/02 E ,  H03H3/04 B ,  H03H9/58 C
Fターム (23件)：
5J108AA02 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108CC12 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF02 ,  5J108FF04 ,  5J108GG03 ,  5J108GG13 ,  5J108GG15 ,  5J108GG18 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK03 ,  5J108KK04 ,  5J108KK05 ,  5J108MM03 ,  5J108NA02 ,  5J108NB02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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