特許
J-GLOBAL ID：200903033380405238
バルク音響波共振器、フィルタ、デュプレクサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 由己男
, 稲積 朋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-106584
公開番号（公開出願番号）：特開2005-304021
出願日： 2005年04月01日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：
【課題】 バルク音響波共振器、フィルタ、デュプレクサ及びそれらの製造方法に関して開示する。【解決手段】 第1電極と第2電極との間に圧電層が設けられたメンブレインを有する共振器は、支持構造物の背面から形成された空洞の上にある。第1の実施例において、空洞の壁は実質的に支持構造物の背面に対し垂直である。第2の実施例において、第1電極は、支持構造物の背面上の電極に電気的に接続された空洞に設けられる。更に他の実施例において、空洞は、ビアホールを通じてエッチングによって支持構造物の背面でビアを形成するが、同実施例では、他の設計に比べて相対的に配列に対する要求を減らし、より融通性のある共振器を設計することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
支持構造物;
前記支持構造物の第1表面に近接して位置している第1電極と、
前記第1電極及び前記支持構造物の前記第1表面に近接して位置している圧電層と、
前記第1電極と対向する前記圧電層の一面上に前記圧電層と隣り合って位置し、前記第1電極と絶縁される第2電極とを含み、
前記第1電極、前記圧電層、及び前記第2電極はメンブレイン構造物を形成し、
前記支持構造物は、前記支持構造物の第2表面から支持構造物を通じて前記支持構造物に最も近い前記第1電極までに至る空洞を含み、前記空洞の上方に前記メンブレイン構造物の少なくとも一部が位置し、
前記空洞は壁を有し、前記壁は前記支持構造物の第2表面と80度から100度の角度を有することを特徴とする、共振器。
IPC (4件)：
H03H9/17
, H03H3/02
, H03H9/58
, H03H9/70
H03H9/17 F
, H03H3/02 B
, H03H9/58 A
, H03H9/70
5J108AA07
, 5J108BB07
, 5J108BB08
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108KK01
, 5J108KK02
, 5J108MM11
出願人引用 (3件)
-
US 6,355,498
-
WO 02-05425
-
US 6,384,697
審査官引用 (8件)
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