特許
J-GLOBAL ID：200903007094479169

膜厚モニタ装置ならびに真空蒸着方法および真空蒸着装置

発明者：
藤井 秀雄

藤井 秀雄 について

, 
荒木 清

荒木 清 について


出願人/特許権者：
旭光学工業株式会社

旭光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-091521
公開番号（公開出願番号）：特開平10-265954
出願日： 1997年03月25日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：
【要約】【課題】 形成される薄膜の厚さの精度を高める【解決手段】 光学特性測定手段10を支持する支持手段12の一端部は、回転軸126に固着され、モータ128により回転軸126が駆動されると、支持手段12は基板ホルダ108と共に回転する。真空チャンバ104の天井には環状の窓8が形成されており、光源18はこの窓8を通じて基板ホルダ108上のモニタ基板6に光を放射し、光検出器20はその反射光を窓8ならびに分光器22を通じて受光する。制御手段44は光検出器20から、モニタ基板6の反射率を表す信号を受け取り、その信号にもとづいて蒸発手段のシャッタ118A、118Bを操作し、蒸着時間を制御する。モニタ基板6は、薄膜を形成すべきガラス基板154と共に基板ホルダ108上に載置され、そしてガラス基板154と共に回転するので、ガラス基板に形成される薄膜の厚さを正確に制御できる。
請求項（抜粋）：
真空チェンバ内に複数の基体を基体ホルダで支持し、前記基体ホルダを回転させつつ、蒸着により前記基体上に薄膜を形成する真空蒸着装置において用いる膜厚モニタ装置であって、前記基体ホルダにより支持されたモニタ基体と、真空チャンバに形成された窓と、前記真空チャンバの外部より前記窓を通じて前記モニタ基体に光を照射し、前記モニタ基体からの反射光を前記真空チャンバの外部で前記窓を通じて受光して、前記モニタ基体の光学特性値を測定する光学特性測定手段と、を備えたことを特徴とする膜厚モニタ装置。
IPC (3件)：
C23C 14/54 ,  C23C 14/24 ,  G01B 11/06
FI (3件)：
C23C 14/54 E ,  C23C 14/24 U ,  G01B 11/06
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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