光情報記録媒体の製造装置及び製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-116058
公開番号（公開出願番号）：特開平8-315432
出願日： 1995年05月15日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】基板の上に形成される膜の膜厚を精度良く検出し、膜厚精度が高い光情報記録媒体を製造する。【構成】投光器7から基板ホルダー3に取付けられたモニター基板5に光を照射し、モニター基板5で反射した光を受光器10で検出する。膜厚コントローラには、受光器10で検出された光のエネルギー反射率と、モニター基板5の上に形成される膜の膜厚との関係が記憶されており、上記エネルギー反射率を求めることにより、モニター基板5上に形成された膜の膜厚を求めることができるようになっている。このように、光を直接膜に照射して膜厚を求めることができるため、膜厚を精度良く検出することができる。したがって、膜厚精度が高い光情報記録媒体を製造することができる。

請求項（抜粋）：

光情報記録媒体を構成する基板を基板取付手段の一の面に取付けて回転させ、前記基板上に形成される膜の材料の粒子を前記基板上に堆積させることにより、前記基板上に膜を形成する光情報記録媒体の製造装置であって、前記基板取付手段の一の面に取付けられるモニター基板と、前記モニター基板に光を照射する光照射手段と、前記光照射手段から前記モニター基板に照射され、前記モニター基板にて変化された光を検出する光検出手段と、前記光検出手段により検出された光に基づいて、前記基板上に形成された膜の膜厚を演算するとともに、この演算された膜厚に基づいて前記材料の粒子の前記基板およびモニター基板の上への堆積量を調整する堆積量調整手段と、を備えたことを特徴とする光情報記録媒体の製造装置。

IPC (4件)：

G11B 7/26 531 , C23C 14/24 , C23C 14/34 , C23C 14/54

FI (5件)：

G11B 7/26 531 , C23C 14/24 U , C23C 14/34 U , C23C 14/54 E , C23C 14/54 F

引用特許：

審査官引用 (49件)

特開昭63-028862
特開昭63-028862
特開昭55-009543

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