特許
J-GLOBAL ID:200903007257072860
3次元計測方法及びそれを用いた3次元形状計測装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
板谷 康夫
, 田口 勝美
, 水田 愼一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-347968
公開番号(公開出願番号):特開2008-157797
出願日: 2006年12月25日
公開日(公表日): 2008年07月10日
要約:
【課題】3次元計測方法及びそれを用いた装置において、撮像画像の各点におけるコントラストが高い場合であっても、計測結果の信頼性が低い点を検出することができ、測定の信頼性を向上させると共に、計測値の異常値の発生を防止する。【解決手段】縞パターンを計測対象物に投影し、その計測対象物を撮像する過程を、位相を一定間隔でシフトさせて複数回実行する撮像画像取得ステップ(S2)と、複数枚の撮像画像における同一点での実測明度の明度変化に基づいて、縞パターンの位相値、バイアス値及び振幅値を演算すると共に、それらを用いて推定明度を計算し、実測明度と推定明度との差の平方値、又は差の絶対値を、撮像画像取得ステップ(S2)を実行した回数だけ加算した信頼性パラメータを演算するステップ(S3)を備え、信頼性パラメータが予め設定された所定値よりも小さい点のみのデータを用いて3次元形状を計測する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
光の明度が正弦波状に変化する縞パターンを計測対象物に投影し、前記縞パターンが投影された前記計測対象物を投影方向と異なる方向から撮像する過程を、前記縞パターンの位相を一定間隔でシフトさせて複数回実行する撮像画像取得ステップと、
前記撮像画像取得ステップにより得られた複数枚の撮像画像における同一点での実測明度の明度変化に基づいて、前記縞パターンの位相値、バイアス値及び振幅値を演算する演算ステップと、を備え、
前記演算ステップにより求まった位相値から各点での前記計測対象物の高さ情報を求め、3次元形状を計測する3次元形状計測方法において、
前記演算ステップにより求まった前記各点における位相毎の位相値、バイアス値及び振幅値を用いて推定明度を計算し、前記実測明度と前記推定明度との差の平方値、又は差の絶対値を、前記撮像画像取得ステップを実行した回数だけ加算した信頼性パラメータを演算するステップを備え、
前記ステップにより得られた信頼性パラメータが予め設定された所定値よりも小さい点のみのデータを用いて、3次元形状を計測することを特徴とする3次元形状計測方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B11/25 H
, G06T1/00 315
Fターム (33件):
2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD09
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF07
, 2F065FF09
, 2F065HH03
, 2F065HH06
, 2F065HH07
, 2F065HH18
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL18
, 2F065LL33
, 2F065LL53
, 2F065MM16
, 2F065NN01
, 2F065NN08
, 2F065QQ21
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
, 2F065QQ41
, 2F065UU05
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057DC22
引用特許:
出願人引用 (3件)
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特許3525964号公報
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3次元形状測定方法及びその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-018483
出願人:オリンパス株式会社
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3次元形状測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-101168
出願人:オリンパス株式会社
審査官引用 (5件)
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3次元計測方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-201181
出願人:オリンパス株式会社
-
表面形状測定装置及び方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-119920
出願人:富士通株式会社
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特開昭63-047609
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