特許
J-GLOBAL ID：200903007358756808
複合構造物形成システム及び形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-022197
公開番号（公開出願番号）：特開2006-233334
出願日： 2006年01月31日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】 凝集体などを形成せずに定量の粉体を安定して供給可能とした複合構造物形成システム及び形成方法を提供することを目的とする。【解決手段】 微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に衝突させて前記微粒子の構成材料からなる構造物と前記基材との複合構造物を形成する複合構造物形成システムであって、前記微粒子を収容する収容機構と、前記微粒子をガス中に分散させてエアロゾルを形成するエアロゾル化機構と、前記収容機構から前記エアロゾル化機構に前記微粒子を供給する分割供給機構と、前記エアロゾル化機構に前記ガスを供給するガス供給機構と、前記エアロゾルを前記基材に向けて噴射する吐出口と、を備え、前記分割供給機構は、前記微粒子を複数の群に分割して供給することを特徴とする複合構造物形成システムを提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に衝突させて前記微粒子の構成材料からなる構造物と前記基材との複合構造物を形成する複合構造物形成システムであって、
前記微粒子を収容する収容機構と、
前記微粒子をガス中に分散させてエアロゾルを形成するエアロゾル化機構と、
前記収容機構から前記エアロゾル化機構に前記微粒子を供給する分割供給機構と、
前記エアロゾル化機構に前記ガスを供給するガス供給機構と、
前記エアロゾルを前記基材に向けて噴射する吐出口と、
を備え、
前記分割供給機構は、前記微粒子を複数の群に分割して供給することを特徴とする複合構造物形成システム。
IPC (2件)：
FI (4件)：
C23C24/04
, B01J4/00 105A
, B01J4/00 105B
, B01J4/00 105C
4G068AA02
, 4G068AB22
, 4G068AC20
, 4G068AD01
, 4G068AD29
, 4G068AD30
, 4G068AD31
, 4G068AE10
, 4G068AF31
, 4G068AF40
, 4K044AA01
, 4K044AA12
, 4K044AA13
, 4K044AA16
, 4K044BB11
, 4K044CA23
, 4K044CA51
, 4K044CA71
出願人引用 (2件)
-
特許第3348154号公報
-
超微粒子成膜法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-210765
出願人：工業技術院長
審査官引用 (7件)
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