特許
J-GLOBAL ID：200903007735901974
弾性表面波装置及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-083712
公開番号（公開出願番号）：特開2003-283295
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：
【要約】【課題】 樹脂封止構造の信頼性が高い弾性表面波装置の製造方法を提供する。【解決手段】 圧電性基板とこの圧電性基板上に配置された櫛歯電極とを有する弾性表面波素子を複数形成し、複数の弾性表面波素子を多数個取りのベース基板上に突起電極を介して実装し、隣接する弾性表面波素子の隙間に対応して凸部が形成された型を用いて複数の弾性表面波素子に樹脂を押し当て、複数の弾性表面波素子を樹脂によって封止し、樹脂及びベース基板を弾性表面波素子ごとに個片化する。
請求項（抜粋）：
ベース基板と、前記ベース基板上に配置された突起電極と、前記突起電極を介して前記ベース基板上に実装された弾性表面波素子と、前記弾性表面波素子上に配置された第1樹脂部と、前記弾性表面波素子周囲の前記ベース基板上に配置された第2樹脂部とを有し、前記第2樹脂部の上面は前記第1樹脂部の上面よりも前記ベース基板から見て低いことを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (5件)：
H03H 9/25
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/22
, H03H 3/08
H03H 9/25 A
, H03H 3/08
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
, H01L 41/18 101 A
5J097AA24
, 5J097AA25
, 5J097FF04
, 5J097GG03
, 5J097GG04
, 5J097HA04
, 5J097HA07
, 5J097HA08
, 5J097JJ09
, 5J097KK10
