特許
J-GLOBAL ID：200903007737103056
欠陥検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-339759
公開番号（公開出願番号）：特開2000-227319
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：
【要約】【課題】設計データ上のバンプ位置やバンプ全体の個数を予め登録することなしに、欠陥の検出を高精度に行なうことができる欠陥検出装置を提供する。【解決手段】複数(ここでは第1、第2)の画像測定手段を用いて測定を行うことにより検査対象の欠陥位置を検出する欠陥検出装置において、第1(第2)の画像測定手段は、少なくとも一方向に対して所定の規則で配列された複数の検査対象について、各検査対象の検査をする第1(第2)の欠陥判定手段55(58)と、検査がなされた各検査対象の状態と、各検査対象の位置を表わすID情報とを対応付けて記憶する第1(第2)のテーブル作成部56(59)とを具備し、第1、第2の画像測定手段のそれぞれの検査結果を、各検査対象の位置を表わすID情報に基づいて対応させ、総合的に欠陥を判定する総合判定手段60を有する。
請求項（抜粋）：
複数の画像測定手段を用いて測定を行うことにより検査対象の欠陥位置を検出する欠陥検出装置において、前記複数の画像測定手段はそれぞれ、少なくとも一方向に対して所定の規則で配列された複数の検査対象について、各検査対象の検査をする検査手段と、検査がなされた各検査対象の状態と、各検査対象の位置を表わすID情報とを対応付けて記憶する記憶手段と、を具備し、前記複数の画像測定手段のそれぞれの検査結果を、各検査対象の位置を表わすID情報に基づいて対応させ、総合的に欠陥を判定する判定手段を有することを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/30 A
, G01N 21/956 B
