特許
J-GLOBAL ID:200903007746419635
ガラスセラミック組成物、焼結体およびそれを用いた配線基板
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-294748
公開番号(公開出願番号):特開2003-095746
出願日: 2001年09月26日
公開日(公表日): 2003年04月03日
要約:
【要約】【課題】銀、銅、金等の低抵抗金属、なかでも銀と同時焼成が可能であり、高熱伝導率を有するガラスセラミック焼結体と寸法精度の高い配線基板を得る。【解決手段】絶縁基板1と、その表面および/または内部に配設された配線層2を具備してなる配線基板において、構成元素として、少なくともSi、Al、希土類元素(RE)、Znおよび/またはMgとを含有し、かつ結晶相として、ガーナイト、スピネル、フォルステライト、エンスタタイトの群から選ばれる少なくとも1種と、AlN結晶相および/またはSi3N4結晶相とを含有し、さらには、希土類含有結晶相を含有し、相対密度が95%以上、熱伝導率が2W/m・K以上のガラスセラミック焼結体によって形成する。
請求項(抜粋):
少なくともSiO2、Al2O3、希土類酸化物(RE2O3)、ZnOおよび/またはMgOを含む希土類元素含有珪酸系ガラスを30〜95質量%と、AlNおよび/またはSi3N4を5〜70質量%とからなることを特徴とするガラスセラミック組成物。
IPC (14件):
C04B 35/581
, C04B 35/03
, C04B 35/14
, C04B 35/584
, H01B 3/02
, H01B 3/12 326
, H01B 3/12 335
, H01B 3/12 336
, H01B 3/12 337
, H01L 23/12
, H01L 23/13
, H01L 23/14
, H05K 1/03 610
, H05K 3/46
FI (14件):
C04B 35/14
, H01B 3/02 A
, H01B 3/12 326
, H01B 3/12 335
, H01B 3/12 336
, H01B 3/12 337
, H05K 1/03 610 D
, H05K 3/46 T
, C04B 35/58 104 F
, C04B 35/02 Z
, C04B 35/58 102 D
, H01L 23/12 C
, H01L 23/12 N
, H01L 23/14
Fターム (95件):
4G001BA01
, 4G001BA02
, 4G001BA03
, 4G001BA04
, 4G001BA05
, 4G001BA06
, 4G001BA07
, 4G001BA08
, 4G001BA09
, 4G001BA10
, 4G001BA14
, 4G001BA32
, 4G001BA36
, 4G001BA71
, 4G001BB01
, 4G001BB02
, 4G001BB03
, 4G001BB04
, 4G001BB05
, 4G001BB06
, 4G001BB07
, 4G001BB08
, 4G001BB09
, 4G001BB10
, 4G001BB14
, 4G001BB32
, 4G001BB36
, 4G001BB51
, 4G001BB65
, 4G001BB71
, 4G001BC12
, 4G001BC17
, 4G001BC22
, 4G001BC46
, 4G001BC49
, 4G001BC53
, 4G001BC54
, 4G001BD03
, 4G001BD23
, 4G001BE01
, 4G001BE11
, 4G001BE32
, 4G030AA07
, 4G030AA08
, 4G030AA09
, 4G030AA10
, 4G030AA11
, 4G030AA12
, 4G030AA13
, 4G030AA17
, 4G030AA32
, 4G030AA35
, 4G030AA36
, 4G030AA37
, 4G030AA51
, 4G030AA52
, 4G030BA12
, 4G030BA21
, 4G030CA01
, 4G030CA08
, 4G030GA14
, 4G030GA15
, 4G030GA17
, 4G030GA20
, 4G030GA24
, 4G030GA25
, 4G030GA27
, 5E346AA12
, 5E346CC18
, 5E346CC19
, 5E346EE24
, 5E346GG04
, 5E346GG08
, 5E346GG09
, 5E346HH31
, 5G303AA05
, 5G303AB15
, 5G303AB20
, 5G303BA09
, 5G303BA12
, 5G303CA03
, 5G303CB01
, 5G303CB02
, 5G303CB03
, 5G303CB05
, 5G303CB17
, 5G303CB25
, 5G303CB30
, 5G303CB32
, 5G303CB38
, 5G303CC02
, 5G303CD01
, 5G303CD04
, 5G303CD06
, 5G303DA05
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (8件)
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