特許
J-GLOBAL ID：200903007781798150

蒸着装置

発明者：
野沢 俊久

野沢 俊久 について

, 
八木 康夫

八木 康夫 について

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渡辺 伸吾

渡辺 伸吾 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-340745
公開番号（公開出願番号）：特開2006-152326
出願日： 2004年11月25日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【課題】 本発明は、基板上に略均一な厚さとなるよう再現性良く、蒸着膜を蒸着することのできる蒸着装置を提供することを課題とする。。【解決手段】 蒸着材料を収容する収容部101と、収容部101を加熱する加熱手段103と、収容部101にキャリアガスを導入するためのガス導入口101Aと、キャリアガスにより、気化又は昇華された蒸着材料を放出する放出口101Bと、放出口101Bに設置され、収容部101内の圧力を調整する圧力調整手段104と、収容部101を冷却する冷却部108とを備えた蒸着源を複数設け、複数の蒸着源を断熱部材110を介して供給用管路92に接続した。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
以上、本発明を好ましい実 処理容器と、 該処理容器内を排気する排気手段と、 前記処理容器に収容され、蒸着膜が形成される基板を保持する基板保持部と、 蒸着材料を気化又は昇華させる蒸着源とを備えた蒸着装置であって、 前記蒸着源は、 前記蒸着材料を収容する収容部と、 該収容部を加熱する第1の加熱手段と、 前記収容部にキャリアガスを導入するためのガス導入口と、 前記キャリアガスにより、気化又は昇華された前記蒸着材料を放出する放出口と、 前記放出口に設置された前記収容部内の圧力を調整する圧力調整手段とを有し、 前記収容部を冷却する冷却手段とを設けたことを特徴とする蒸着装置。
IPC (1件)：
C23C 14/24
FI (1件)：
C23C14/24 U
Fターム (13件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DA04 ,  4K029DA12 ,  4K029DB14 ,  4K029EA02 ,  4K029EA03
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)
  • 有機材料用蒸発源
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-342652   出願人：日本真空技術株式会社
  • 有機膜形成装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-213004   出願人：ソニー株式会社
  • 薄膜形成装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-293280   出願人：ソニー株式会社

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