特許
J-GLOBAL ID：200903007858885965

線集光型フーリエドメイン干渉形状計測装置

発明者：
谷田貝 豊彦

谷田貝 豊彦 について

, 
安野 嘉晃

安野 嘉晃 について


出願人/特許権者：
国立大学法人 筑波大学

国立大学法人 筑波大学 について


代理人 (1件)： 光田 敦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-306170
公開番号（公開出願番号）：特開2006-116028
出願日： 2004年10月20日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：
【課題】被計測体の表面近傍の1ラインで光を集光させ、被計測体の1ラインに沿った深さ方向の形状が機械的走査なしで一枚の2次元CCD画像センサより2次元形状計測が可能とする。【解決手段】光源LSから被計測体Sに向うの光の光路中に順次設けられたコリメートレンズL1、シリンドリカルレンズCL、ビームスプリッタBS及び対物レンズL2、及び参照アーム6(ビームスプリッタBSで分岐された光路中に設けられた対物レンズL3と参照ミラーM1)から成るマイケルソン干渉計と、回折格子G、レンズL4及び2次元CCDカメラ4を有するスペクトロメータ部分3とから成り、シリンドリカルレンズCLの湾曲はy-z平面に形成されており、回折格子Gに形成された一方向の溝10の向きはy軸方向に形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
マイケルソン干渉計から成る干渉計部分と、スペクトロメータ部分から構成されている線集光型フーリエドメイン干渉形状計測装置であって、 光源から被計測体に向かう光の光軸をz軸とし、該z軸に直交するとともに互いに直交する2つの軸をx軸及びy軸とすると、 前記干渉計部分に、シリンドリカルレンズを、その湾曲面がz軸方向を向き、湾曲がy-z平面に表れるように設けられ、前記スペクトロメータ部分に、溝の向きがy軸方向に形成された回折格子が設けられて、前記スペクトル干渉計はx-z平面に構築され、結像光学系はy-z平面に構築されており、 前記被計測体のx軸上の1点においてy軸方向に向かう1ラインで光を集光させ、該被計測体の1ラインに沿ったz軸方向の2次元形状が機械的走査なしで一枚の2次元画像センサにより計測可能である構成を特徴とする線集光型フーリエドメイン干渉形状計測装置。
IPC (3件)：
A61B 10/00 ,  A61B 3/10 ,  G01B 11/24
FI (5件)：
A61B10/00 E ,  A61B3/10 Z ,  A61B3/10 H ,  G01B11/24 D ,  G01B11/24 K
Fターム (43件)：
2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065CC16 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG07 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL13 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL62 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ31 ,  2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059AA06 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE09 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059FF02 ,  2G059FF08 ,  2G059FF09 ,  2G059GG01 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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