特許
J-GLOBAL ID：200903007925592781

固体撮像装置

発明者：
和田 和司

和田 和司 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-096963
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284563
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：
【要約】【課題】 紫外線領域に感度を持つ固体撮像装置において、遮光されていないMONOSゲートに紫外線が入射するのを防いで、Vthがシフトを防止し、電荷の転送やリセット動作の信頼性を高める。【解決手段】 MONOSゲート構造を有し、波長が400nm以下の紫外線を透過する上層膜(平坦化膜51、絶縁膜61、保護膜71)を有する固体撮像装置(第1の固体撮像装置1)において、第1の固体撮像装置1の受光部および転送部を除くMONOSゲート構造(出力ゲート41、リセットゲート42)領域上を被覆する金属製遮光膜からなる第2の遮光膜65を備えたものである。もしくは、第2の遮光膜として紫外線を吸収する有機膜を備えたものである。
請求項（抜粋）：
MONOSゲート構造を有し、波長が400nm以下の紫外線を透過する上層膜を有する固体撮像装置において、前記固体撮像装置の受光部および転送部を除くMONOSゲート構造領域上を被覆する金属製遮光膜を備えたことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3件)：
H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335
FI (3件)：
H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 B
Fターム (22件)：
4M118AA08 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA32 ,  4M118DA28 ,  4M118DD04 ,  4M118DD08 ,  4M118DD12 ,  4M118FA06 ,  4M118GA10 ,  4M118GB11 ,  4M118GB13 ,  4M118GB15 ,  4M118GB17 ,  5C024AX00 ,  5C024BX01 ,  5C024BX04 ,  5C024CX11 ,  5C024CY47 ,  5C024GY31 ,  5C024GZ36
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (12件)
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