特許
J-GLOBAL ID：200903008266532004

荷電粒子ビーム装置、DA変換装置の異常検出方法、荷電粒子ビーム描画方法及びマスク

発明者：
三宮 嘉政

三宮 嘉政 について

, 
野間 昭

野間 昭 について


出願人/特許権者：
株式会社ニューフレアテクノロジー

株式会社ニューフレアテクノロジー について


代理人 (3件)： 松山 允之 ,  河西 祐一 ,  池上 徹真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-097370
公開番号（公開出願番号）：特開2007-271919
出願日： 2006年03月31日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：
【目的】DA変換部の異常を検出可能な装置或いは方法を提供することを目的とする。【構成】本発明の一態様の描画装置100は、電子ビーム200を静電偏向させる対物偏向器208と、電子ビーム200を静電偏向させるためのデジタル信号を入力して第1のアナログ値に変換し、対物偏向器208に第1のアナログ値を増幅して第1の電圧値として出力するDACアンプユニット165と、上述したデジタル信号と同期してデジタル信号の正負を反転させた逆相信号を入力して第2のアナログ値に変換し、第2のアナログ値を増幅して第2の電圧値として出力するDACアンプユニット166と、第1の電圧値と第2の電圧値とを用いてDACアンプユニット165とDACアンプユニット166の少なくとも一方が異常であると判定する比較回路276と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、異常発生時にDACアンプユニットの異常を検出することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
デジタル信号を入力してアナログ値に変換し、前記アナログ値を増幅して出力する複数のDA(デジタル・アナログ)変換部と、 前記複数のDA変換部により出力された複数のアナログ値のうちの少なくとも1つのアナログ値を入力して荷電粒子ビームを偏向させる偏向器と、 前記複数のDA変換部により出力された複数のアナログ値を用いて前記複数のDA変換部の少なくとも1つが異常であると判定する判定部と、 を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
IPC (4件)：
G03F 7/20 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/027 ,  H01J 37/305
FI (4件)：
G03F7/20 504 ,  G03F1/08 A ,  H01L21/30 541U ,  H01J37/305 B
Fターム (16件)：
2H095BA08 ,  2H095BB01 ,  2H095BB10 ,  2H095BB31 ,  2H097AA03 ,  2H097BB10 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C033GG07 ,  5C034BB04 ,  5F056AA04 ,  5F056BA10 ,  5F056BC04 ,  5F056BC10 ,  5F056CB05 ,  5F056CB15
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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