特許
J-GLOBAL ID：200903008271055621
セラミックスの改質方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-370029
公開番号（公開出願番号）：特開2004-196633
出願日： 2002年12月20日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：
【課題】十分なアンカー効果を得るために粗面化処理を行っても、強い破壊靱性を有し、抗折強度を著しく低下させることのないセラミックス、特に高熱伝導性でしかも絶縁特性に対して高い信頼性と、高抗折強度と強破壊靱性を有し、しかもアンカー効果によって金属層との接合強度が強めることができる窒化アルミニウム基板又は窒化ケイ素基板を提供する。【解決手段】セラミックス表面を研削材による機械的研磨加工をして、その表面又は近傍に平均値で5〜30μmの微小亀裂を導入した後、熱処理を行いその微小亀裂を減少させる(消滅させることも含む)ことを特徴とするセラミックスの改質方法。この場合において、微小亀裂を減少させた後に、更に表面を粗雑化することによって、金属層をマウントする際のアンカー効果を十分に発現させることができる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
セラミックス表面を研削材による機械的研磨加工をして、その表面又は近傍に平均値で5〜30μmの微小亀裂を導入した後、熱処理を行いその微小亀裂を減少させる(消滅させることも含む)ことを特徴とするセラミックスの改質方法。
IPC (4件)：
C04B41/80
, C04B35/581
, C04B35/584
, C04B41/91
C04B41/80 A
, C04B41/91 B
, C04B41/91 Z
, C04B35/58 102X
, C04B35/58 104Z
4G001BB32
, 4G001BB36
, 4G001BC71
, 4G001BC73
, 4G001BD02
, 4G001BD03
, 4G001BD13
, 4G001BD23
, 4G001BD38
, 4G001BE32
, 4G001BE35
