微細形状測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-255544
公開番号（公開出願番号）：特開2008-076221
出願日： 2006年09月21日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：

【課題】本発明の目的は高精度な形状測定を行う微細形状測定装置を提供することにある。【解決手段】固定端14bに保持された状態でワーク40をなぞるスタイラス34を自由端14aに持つ可撓性カンチレバー14と、該固定端14bを上下動する駆動手段20と、該ワーク40に対する位置及び姿勢が変化しない基準部材22と、該基準部材22とスタイラス34との上下方向の相対変位を測定し、自由端変位情報を出力する自由端変位計24と、該基準部材22と固定端14bとの上下方向の相対変位を測定し、固定端変位情報を出力する固定端変位計26と、該自由端変位情報及び固定端変位情報に基づきカンチレバー14の上下方向のたわみ量を求める演算手段28とを備え、該たわみ量が所定値となるように該固定端14bを上下させつつ該ワーク40を走査して得られた、該自由端変位情報に基づき、該ワーク40の形状を把握することを特徴とする微細形状測定装置10。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固定端が保持された状態でワーク表面の凹凸をなぞるためのスタイラスを自由端に持ち、上下方向に可撓性を有するカンチレバーと、前記カンチレバーとワーク表面とを横方向に相対的に走査させる走査手段と、前記カンチレバー固定端を上下動する駆動手段と、前記走査によっても、ワークに対する相対的な位置及び姿勢が変化しないように設けられた基準部材と、前記基準部材と前記スタイラスとの上下方向の相対変位を測定し、自由端変位情報を出力する自由端変位計と、前記基準部材と前記カンチレバー固定端との上下方向の相対変位を測定し、固定端変位情報を出力する固定端変位計と、前記自由端変位計で得られた自由端変位情報、及び前記固定端変位計で得られた固定端変位情報に基づき、前記カンチレバーの上下方向のたわみ量を求める演算手段と、前記駆動手段の動作を制御し、前記演算手段で求められたたわみ量が所定値となるように、前記カンチレバー固定端の上下方向位置を制御するための制御手段と、を備え、前記カンチレバーのたわみ量が所定値となるように前記カンチレバー固定端を上下させつつ前記ワーク表面を走査して得られた前記自由端変位情報に基づき、該ワーク表面の形状を把握することを特徴とする微細形状測定装置。

IPC (3件)：

G01N 13/16 , G01B 21/30 , G01B 11/16

FI (3件)：

G01N13/16 A , G01B21/30 , G01B11/16 G

Fターム (35件)：

2F065AA49 , 2F065AA56 , 2F065AA65 , 2F065DD03 , 2F065FF52 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ09 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL36 , 2F065LL46 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065PP24 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065UU03 , 2F069AA06 , 2F069AA66 , 2F069AA68 , 2F069BB40 , 2F069DD30 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG07 , 2F069GG52 , 2F069GG59 , 2F069HH04 , 2F069HH09 , 2F069HH30 , 2F069JJ14 , 2F069MM04

引用特許：

出願人引用 (5件)

走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-381555 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-226522 出願人：オリンパス光学工業株式会社
スキャニングプローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-220669 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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