特許
J-GLOBAL ID：200903091464138545

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
合崎 紳一郎

合崎 紳一郎 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-226522
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072924
出願日： 1995年09月04日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】【課題】カンチレバーに照射するレーザー光の照射位置を調整することにより、カンチレバーの変位を高精度に検出可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】カンチレバー21を試料23に対して走査する微動素子25と、平行光束を出射可能な光源ユニット27と、平行光束の光軸Aを所望の傾斜角度に調整可能な光軸調整ユニット29と、微動素子に支持されており、光軸調整ユニットを介して伝波された平行光束を常にカンチレバーの同一位置に集光させる照射光学系と、カンチレバーの変位が光学的に検出されるように、カンチレバーからの反射光を受光可能な光検出ユニットとを備え、光源ユニットと光軸調整ユニットと光検出ユニットは、微動素子とは別途独立して設けられている。照射光学系は、光軸調整ユニットの反射ミラー37から反射した平行光束のうち、一様な強度分布を有する中心付近の光束のみを通過させる絞り43を備えている。
請求項（抜粋）：
カンチレバーを試料に対して所定方向に走査する微動素子と、 この微動素子とは別途独立して設けられ、所定の平行光束を出射可能な光源ユニットと、前記微動素子とは別途独立して設けられ、前記光源ユニットから出射された平行光束の光軸を所望の傾斜角度に調整可能な光軸調整ユニットと、前記微動素子に支持されており、前記光軸調整ユニットを介して伝波した平行光束を常に前記カンチレバーの同一位置に集光させる照射光学系と、前記微動素子とは別途独立して設けられ、前記カンチレバーの変位が光学的に検出されるように、前記カンチレバーから反射した反射光を受光可能な光検出ユニットとを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28
FI (3件)：
G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z
引用特許：
審査官引用 (6件)
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