特許
J-GLOBAL ID：200903008351965246
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-414579
公開番号（公開出願番号）：特開2005-175255
出願日： 2003年12月12日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】 露光精度を向上させる。【解決手段】 露光光源から被露光基板に至る露光光の光路上に位置する反射ミラーまたは原版への露光光の非入射時に、反射ミラーまたは原版面を、輻射温調ヒーターでプリヒート温調することで、露光開始時の反射ミラーまたは原版面の温度変化を抑制し、反射ミラーまたは原版面パターンの歪発生を抑制し、露光開始時のミラー温度変化に伴う収差悪化および原版のパターン歪発生を抑制する。 また、投影光学系の光軸調整時または反射ミラー収差調整時に、反射ミラーを輻射温調ヒーターでプリヒート温調することで、露光動作時と均等な状態での光軸調整または収差調整を可能とし、露光開始時のミラー温度変化に伴う収差悪化および原版のパターン歪発生を抑制する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
露光光源と、該露光光源からの露光光により原版を照明する照明光学系と、原版面に描かれたパターンを基板に投影する投影光学系とを有する露光装置において、
前記露光光源から前記基板に至る露光光の光路上に配置された光学素子または原版のうち少なくとも1つに対して離間した位置からその光学素子または原版を温調する輻射温調手段と、該温調対象の光学素子または原版への前記露光光の入射および非入射のタイミングに応じて前記輻射温調手段の温度を可変する温調制御手段とを備えることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L21/30 531A
, G03F7/20 503
, H01L21/30 517
, H01L21/30 515D
2H097BA02
, 2H097CA15
, 2H097LA10
, 5F046DA13
, 5F046GA04
, 5F046GB01
, 5F046GB09
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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