特許

J-GLOBAL ID：200903008413662997

表示装置の製造方法

発明者： 越智 元隆 ,  後藤 裕史
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (6件)： 植木 久一 ,  菅河 忠志 ,  二口 治 ,  伊藤 浩彰 ,  植木 久彦 ,  竹岡 明美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-324374
公開番号（公開出願番号）：特開2009-175720
出願日： 2008年12月19日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：

【課題】酸化物透明導電膜の上に反射電極用のAl合金膜が直接接続された構造を備えた表示装置において、TMAH水溶液などのアルカリ現像液中での腐食が生じ難く、Al系合金膜の腐食を有効に防止することが可能な表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】酸化物透明導電膜19aの上に反射電極用のAl合金膜19bが直接接続されてなる構造を備えた表示装置11の製造方法であって、基板上に酸化物透明導電膜を形成する第1の工程と、酸化物透明導電膜上にAl合金膜を形成する第2の工程と、Al合金膜を加熱する第3の工程とを包含し、Al合金膜は、Ni及び/又はCoを0.1〜4原子%、およびLa、Mgなどから選択される少なくとも一種の元素を総量で0.1〜2原子%の範囲で含有するAl-(Ni/Co)-X合金からなり、Ni及び/又はCo含有量に応じて、第2の工程における基板の温度および第3の工程における加熱温度を制御している。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

酸化物透明導電膜の上に反射電極用のAl合金膜が直接接続されてなる構造を備えた表示装置の製造方法であって、 基板上に前記酸化物透明導電膜を形成する第1の工程と、 前記酸化物透明導電膜上に前記Al合金膜を形成する第2の工程と、 前記Al合金膜を加熱する第3の工程と、を包含し、 前記Al合金膜は、Ni及び/又はCoを0.1〜4原子%、およびグループXから選択される少なくとも一種の元素を総量で0.1〜2原子%の範囲で含有するAl-(Ni/Co)-X合金からなり、前記Xは、La、Mg、Cr、Mn、Ru、Rh、Pt、Pd、Ir、Ce、Pr、Gd、Tb、Dy、Nd、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、Y、Fe、Sm、Eu、Ho、Er、Tm、Yb、およびLuからなり、 前記Al-(Ni/Co)-X合金膜のNi含有量及び/又はCo含有量に応じて、前記第2の工程における基板の温度および前記第3の工程における加熱温度を制御する、 ことを特徴とする表示装置の製造方法。

IPC (7件)：

G09F 9/30 ,  H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  H01L 21/28 ,  G02F 1/133 ,  G02F 1/134 ,  G02B 5/08

FI (9件)：

G09F9/30 349D ,  H01L21/88 N ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/88 R ,  H01L21/88 S ,  G09F9/30 336 ,  G02F1/1335 520 ,  G02F1/1343 ,  G02B5/08 A

Fターム (61件)：

2H042DA02 ,  2H042DA12 ,  2H042DC02 ,  2H042DE04 ,  2H092GA17 ,  2H092HA04 ,  2H092HA05 ,  2H092KB13 ,  2H092MA05 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092MA25 ,  2H092NA27 ,  2H191FA31Y ,  2H191FB14 ,  2H191FC02 ,  2H191FC10 ,  2H191FC32 ,  2H191FC36 ,  2H191FC41 ,  2H191GA05 ,  2H191LA13 ,  2H191NA10 ,  2H191NA28 ,  2H191NA34 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB36 ,  4M104DD37 ,  4M104DD40 ,  4M104DD64 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104HH20 ,  5C094AA31 ,  5C094AA55 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DB10 ,  5C094EA05 ,  5C094ED01 ,  5C094ED11 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094GB10 ,  5C094JA01 ,  5F033HH10 ,  5F033HH35 ,  5F033HH38 ,  5F033MM05 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ35 ,  5F033VV00 ,  5F033VV15 ,  5F033XX18

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 液晶表示装置とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-306991   出願人：日本電気株式会社
• 液晶表示装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-321663   出願人：三菱電機株式会社, 株式会社アドバンスト・ディスプレイ
• 半透過型液晶表示装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-372366   出願人：エルジーフィリップスエルシーディーカンパニーリミテッド
• 表示デバイスおよびその製法、ならびにスパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-274288   出願人：株式会社神戸製鋼所

審査官引用 (2件)

• Al合金薄膜及びその製造方法並びにAl合金薄膜形成用スパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-102978   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 表示デバイスおよびその製法、ならびにスパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-274288   出願人：株式会社神戸製鋼所