特許
J-GLOBAL ID:200903008502032379

サーキュレータを有する走査型顕微鏡および共焦点走査型顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木村 高久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-185233
公開番号(公開出願番号):特開2002-122786
出願日: 2001年06月19日
公開日(公表日): 2002年04月26日
要約:
【要約】【課題】走査型顕微鏡法または共焦点走査型顕微鏡において、主ビームスプリッタでの励起光または検出光の損失を除去する。【解決手段】走査型顕微鏡(100)は、少なくとも1つの照射源(4)、対物レンズ(10)および少なくとも1つの検出器(12)を備えている。光サーキュレータ(14)は、少なくとも1つの照射源(4)と、対物レンズ(10)と、少なくとも1つの検出器(12)との間に配置される。別の実施形態において、走査型顕微鏡(100)は、共焦点顕微鏡として構成される。
請求項(抜粋):
少なくとも1つの照射源(4)、対物レンズ(10)および少なくとも1つの検出器(12)を有する走査型顕微鏡(100)であって、光サーキュレータ(14)が、前記少なくとも1つの照射源(4)と、前記対物レンズ(10)と、前記少なくとも1つの検出器(12)との間に配置されることと、前記光サーキュレータ(14)が、前記照射源(4)から、検査対象である試料(11)が関連付けられている対物レンズ(10)まで光を伝送し、かつ前記試料(11)から前記検出器(12)まで進む光を供給することを特徴とする、走査型顕微鏡(100)。
Fターム (10件):
2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AB24 ,  2H052AB25 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC26 ,  2H052AD32 ,  2H052AF14
引用特許:
審査官引用 (6件)
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