特許
J-GLOBAL ID：200903008571652184
ワイヤソーの砥粒循環装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-198800
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033913
出願日： 1997年07月24日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：
【要約】【課題】 人手作業を無くして砥粒を循環使用できるようにし、新規の砥粒と新規の切削液体の使用量を極力少なくすると共に、廃棄物の発生量を著しく減少させる。【解決手段】 ワイヤソー1からの使用済の砥粒スラリー3’を導入して回収砥粒5’と切屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体23とに分離する第1の分離手段20と、第1の分離手段20にて分離した微粒混合液体23を導入して固体廃棄物25と回収切削液体6’とに分離する第2の分離手段24と、第1の分離手段20で分離された回収砥粒5’と第2の分離手段24で分離された回収切削液体6’とを導入し、且つ新規な砥粒5を供給する砥粒供給装置39と新規な切削液体6を供給する切削液体供給装置42を備えて砥粒スラリー3をスラリー供給装置2に供給するスラリー混合装置35とを備える。
請求項（抜粋）：
ワイヤソーからの使用済の砥粒スラリーを導入して回収砥粒と切屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体とに分離する第1の分離手段と、該第1の分離手段にて分離した切屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体を導入して固体廃棄物と回収切削液体とに分離する第2の分離手段と、前記第1の分離手段で分離された回収砥粒と前記第2の分離手段で分離された回収切削液体とを導入し、且つ新規な砥粒を供給する砥粒供給装置と新規な切削液体を供給する切削液体供給装置を備えて砥粒スラリーをスラリー供給装置に供給するスラリー混合装置とを備えたことを特徴とするワイヤソーの砥粒循環装置。
IPC (2件)：
B24B 57/02
, H01L 21/304 311
B24B 57/02
, H01L 21/304 311 W
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (8件)
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