多層膜反射鏡およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058619
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258597
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】軟X線領域において使用される多層膜反射鏡において、多層膜の剥離の起こりにくい多層膜反射鏡を提供することを目的とする。【解決手段】本発明では、軟X線領域での屈折率と真空における屈折率との差が大きい高屈折率物質と、軟X線領域での屈折率と真空における屈折率との差が小さい低屈折率物質とを基板上に交互に積層してなる多層膜反射鏡において、基板における反射領域のみに高屈折率物質と低屈折率物質との交互多層膜が成膜した。

請求項（抜粋）：

軟X線領域での屈折率と真空における屈折率との差が大きい高屈折率物質と、前記軟X線領域での屈折率と真空における屈折率との差が小さい低屈折率物質とを基板上に交互に積層してなる多層膜反射鏡において、前記基板における反射領域のみに前記高屈折率物質と前記低屈折率物質との交互多層膜が成膜されたことを特徴とする多層膜反射鏡。

FI (2件)：

G21K 1/06 A , G21K 1/06 D

引用特許：

審査官引用 (11件)

X線用反射鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-143789 出願人：株式会社ニコン
特開平1-296200
特開昭64-004021

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