加速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-298590
公開番号（公開出願番号）：特開2007-107990
出願日： 2005年10月13日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：

【課題】量産性に優れた出力電圧の高い加速度センサを提供する。【解決手段】自発分極方向と電極が平行となっている圧電素子を、各々の圧電素子の電極面が平行となるように少なくとも1つ以上配置する。圧電素子の自由端面に加速度で慣性力を受ける錘を連接し、圧電素子に剪断応力を作用させ圧電気を生じる構成とする。自発分極方向が板厚方向である板材に溝入れ加工を施し電極を形成することで、前記圧電素子を容易に複数形成でき、さらに圧電素子が直列接続されることで出力電圧を増大させる。また、圧電材料として点群4mmまたは6mmに分類される材料を用いることで、加速度検出方向の指向性を高める。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

加速度により慣性力が作用する錘と、圧電体と前記圧電体を挟持する一対の電極とから構成され、前記錘に接続される圧電素子と、を有し、前記電極が前記圧電体の自発分極方向と平行に配置され、前記錘が前記圧電体の自発分極方向と垂直な面に連接されている加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/09 , H01L 41/08 , H01L 41/187

FI (3件)：

G01P15/09 C , H01L41/08 Z , H01L41/18 101D

引用特許：

出願人引用 (5件)

圧電加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-163342 出願人：日本無線株式会社
加速度センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-355281 出願人：松下電器産業株式会社
圧電体素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-271085 出願人：宇部興産株式会社

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