特許
J-GLOBAL ID：200903008949893061

アブソリュートエンコーダ

発明者：
新井 眞

新井 眞 について


出願人/特許権者：
株式会社仙台ニコン

株式会社仙台ニコン について

, 
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-359395
公開番号（公開出願番号）：特開2005-121593
出願日： 2003年10月20日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 厚さの薄いアブソリュートエンコーダの提供。【解決手段】 アブソリュートパターン100およびインクリメンタルパターン101が形成されたスケール円板1と対向するようにシリコンセンサ基板4を設ける。シリコンセンサ基板4には、アブソリュートパターン100およびインクリメンタルパターン101に発散光を照射するLED401と、アブソリュートパターン100およびインクリメンタルパターン101で反射された発散光を検出する受光素子アレイ403,404とが設けられている。LED401は受光素子アレイ403,404の間に形成された凹部602に設けられ、LED401の出射面と受光素子アレイ403,404の受光面とは同一平面に設定されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
シリアルアブソリュートパターン列およびインクリメンタルパターン列が並設されたスケール平板と、 前記シリアルアブソリュートパターン列からの反射光を検出する第1の光電変換素子アレイと、 前記第1の光電変換素子アレイと並列に形成され、前記インクリメンタルパターン列からの反射光を検出する第2の光電変換素子アレイと、 前記第1の光電変換素子アレイと前記第2の光電変換素子アレイとの間に配置され、前記スケール平板に向けて光を出射する発光素子とを備えたことを特徴とするアブソリュートエンコーダ。
IPC (1件)：
G01D5/30
FI (2件)：
G01D5/30 R ,  G01D5/30 F
Fターム (11件)：
2F103BA43 ,  2F103CA01 ,  2F103CA03 ,  2F103DA11 ,  2F103EB01 ,  2F103EB16 ,  2F103EB27 ,  2F103EB32 ,  2F103GA02 ,  2F103GA03 ,  2F103GA15
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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