特許
J-GLOBAL ID：200903009200238349
ガス放電パネルの隔壁形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-230696
公開番号（公開出願番号）：特開2000-067742
出願日： 1998年08月17日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 ガス放電パネルの隔壁形成方法に関し、高精度な隔壁を欠けや剥離等が発生しないように形成することを目的とする。【解決手段】 ガス放電パネルの放電空間を区画する隔壁22をサンドブラストを用いて形成するに際し、ガラス基板11上に、サンドブラスト用マスクを加熱により焼失させる所定の焼成温度よりも低い軟化点を有するガラス材料と、前記焼成温度よりも高い軟化点を有するガラス材料とを含む隔壁材料層22aを配設する工程と、前記隔壁材料層の上に所定パターンの開口部を有するレジスト層からなるマスク30を形成し、前記マスクを介してサンドブラスト処理を行った後、隔壁材料層と前記マスクとを同時に加熱して前記マスクを焼失させる工程とを含む一連の工程によって形成する。
請求項（抜粋）：
ガス放電パネルの放電空間を区画する隔壁をサンドブラストを用いて形成するに際し、基板上に、サンドブラスト用マスクを加熱により焼失させる所定の焼成温度よりも低い軟化点を有するガラス材料と、前記焼成温度よりも高い軟化点を有するガラス材料とを含む隔壁材料層を配設する工程と、前記隔壁材料層の上にレジスト層を形成した後パターニングを行い、所定パターンの開口を有するマスクを形成する工程と、前記マスクを介してサンドブラスト処理を行った後、前記隔壁材料層と前記マスクとを同時に加熱して前記マスクを焼失させる工程とを含むことを特徴とするガス放電パネルの隔壁形成方法。
IPC (5件)：
H01J 9/02
, B24C 11/00
, G03F 7/34
, G09F 9/30 324
, H01J 11/02
H01J 9/02 F
, B24C 11/00
, G03F 7/34
, G09F 9/30 324
, H01J 11/02 B
2H096AA30
, 2H096CA05
, 2H096HA30
, 5C027AA09
, 5C040AA04
, 5C040DD09
, 5C094AA05
, 5C094AA43
, 5C094AA44
, 5C094BA31
, 5C094CA19
, 5C094CA24
, 5C094DA13
, 5C094EA05
, 5C094EB02
, 5C094EC04
, 5C094FA01
, 5C094FA02
, 5C094FB15
, 5C094GB10
