特許
J-GLOBAL ID:200903044357102734

プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井桁 貞一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-253086
公開番号(公開出願番号):特開平11-096902
出願日: 1997年09月18日
公開日(公表日): 1999年04月09日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、プラズマディスプレイパネルの隔壁をサンドブラスト法により形成する方法に関し、処理速度を速くするとともに、隔壁の形成精度の良好な隔壁形成を提供することを目的としている。【解決手段】 放電部を仕切る隔壁を基板上に備えるプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成する方法において、基板1上に隔壁形成用膜と前記放電部に対応する開口部を有するマスクとを積層した後、前記隔壁形成用膜の一辺に対して隙間なく砥粒を噴射できる噴射ノズル2a〜2dを該基板を横切るように移動させるとともに、該ノズルから砥粒を隔壁形成用膜に吹きつけて、前記マスクの開口部に露出した部分の隔壁形成用膜を切削し、当該基板上に残存する隔壁形成用膜により隔壁を形成する構成としている。
請求項(抜粋):
放電部を仕切る隔壁を基板上に備えるプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成する方法であって、基板上に隔壁形成用膜と前記放電部に対応する開口部を有するマスクとを積層した後、前記隔壁形成用膜の一辺に対して隙間なく砥粒を噴射できる噴射ノズルを前記基板を横切るように移動させるとともに、該ノズルから砥粒を隔壁形成用膜に吹きつけて、前記マスクの開口部に露出した部分の隔壁形成用膜を切削し、当該基板上に残存する隔壁形成用膜により隔壁を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
IPC (2件):
H01J 9/02 ,  B24C 1/04
FI (2件):
H01J 9/02 F ,  B24C 1/04 C
引用特許:
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (13件)
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