特許

J-GLOBAL ID：200903009311785683

非晶質炭素膜、その形成方法、および非晶質炭素膜を備えた高耐摩耗摺動部材

発明者： 伊関 崇 ,  太刀川 英男 ,  森 広行 ,  中西 和之 ,  松井 宗久 ,  五十嵐 新太郎 ,  清水 富美男 ,  土屋 能成 ,  大島 正
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-523911
公開番号（公開出願番号）：特表2008-522020
出願日： 2005年11月24日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：

本発明の非晶質炭素膜は、主成分としての炭素と、非晶質炭素膜全体を100at%とした場合に、0.1at%以上10at%以下のケイ素と、を含有する。炭素は、炭素の全体量を100at%とした場合に、60at%以上90at%以下のsp2混成軌道を持つ炭素を含む。また、本発明の非晶質炭素膜の形成方法を開示している。【図】

請求項（抜粋）：

炭素の全体量を100at%とした場合に、60at%以上90at%以下のsp2混成軌道を持つ炭素を含む主成分としての炭素と、 非晶質炭素膜全体を100at%とした場合に、0.1at%以上10at%以下のケイ素と、 を含有することを特徴とする非晶質炭素膜。

IPC (4件)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 ,  C10M 103/02 ,  C10M 103/06

FI (4件)：

C23C16/26 ,  C01B31/02 101Z ,  C10M103/02 Z ,  C10M103/06 E

Fターム (28件)：

4G146AA01 ,  4G146AA17 ,  4G146AB07 ,  4G146AC27A ,  4G146AC27B ,  4G146AC30B ,  4G146AD02 ,  4G146AD26 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BC09 ,  4G146BC46 ,  4H104AA04A ,  4H104AA21A ,  4H104LA03 ,  4H104PA41 ,  4H104QA11 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030BA27 ,  4K030BB05 ,  4K030CA02 ,  4K030CA05 ,  4K030CA07 ,  4K030DA02 ,  4K030FA01 ,  4K030JA06 ,  4K030LA23

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平3-240957号公報
  
• 非晶質硬質炭素膜及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-121047   出願人：株式会社ゼクセル

審査官引用 (6件)

• 高耐摩耗性および高耐焼付き性摺動部材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-145708   出願人：株式会社豊田中央研究所
• タペット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-323519   出願人：川崎重工業株式会社
• 非晶質硬質炭素膜及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-157465   出願人：株式会社リケン
• 特許第874066号
  
• 非晶質硬質炭素皮膜およびそれを用いた摺動部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-100725   出願人：株式会社リケン
• 特開平3-240957