特許
J-GLOBAL ID：200903028909217706
高耐摩耗性および高耐焼付き性摺動部材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-145708
公開番号（公開出願番号）：特開2003-336542
出願日： 2002年05月21日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：
【要約】【課題】 潤滑油中の高面圧あるいは高速度な摺動環境下で、優れた耐摩耗性と高耐焼付き性を示す摺動部材、およびその製造方法を提供する。【解決手段】 潤滑油の存在下で摺動される摺動面を持つ基材と、該摺動面の少なくとも一部に固定した被膜と、からなり、前記被膜は、炭素を主成分とし、珪素を1〜5at%、水素を20〜40at%含むダイヤモンドライクカーボンからなる。また、被膜は、プラズマCVD法により、珪素化合物ガスと炭素化合物ガスとを主体とした雰囲気中で、珪素化合物ガスと炭素化合物ガスの流量比を1:5〜500の範囲内として、放電出力密度0.05〜2.0W/cm2で放電させることにより、基材の摺動面の少なくとも一部に形成する。
請求項（抜粋）：
潤滑油の存在下で摺動される摺動面を持つ基材と、該摺動面の少なくとも一部に固定した被膜と、からなり、前記被膜は、炭素を主成分とし、珪素を1〜5at%、水素を20〜40at%含むダイヤモンドライクカーボンからなることを特徴とする高耐摩耗性および高耐焼付き性摺動部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030BA28
, 4K030BB01
, 4K030FA01
, 4K030JA06
, 4K030JA16
, 4K030LA23
