特許
J-GLOBAL ID:200903009334526588
圧電振動片、振動型ジャイロスコープ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-235226
公開番号(公開出願番号):特開2006-003336
出願日: 2004年08月12日
公開日(公表日): 2006年01月05日
要約:
【課題】 正確な検出信号を得ることができる圧電振動片と、この圧電振動片を搭載する信頼性が高い振動型ジャイロスコープを提供する。【解決手段】 圧電振動片10は、所定面内に形成される矩形の基部12と、基部12の対向するそれぞれの端面から延出される駆動振動腕15A〜15Dと検出振動腕16A,16Bと、駆動振動腕15A〜15Dに形成される駆動信号電極111と、検出振動腕16A,16Bに形成される検出信号電極113,114と、基部12の少なくとも一方の主面に連続して形成される駆動信号電極111,112に連続する駆動信号電極パターン111A,111Bと検出信号電極113,114に連続する検出信号電極パターン113A,114Aと、駆動信号電極パターン111A,112Aと検出信号電極パターン113A,114Aとのそれぞれの間に形成される定電位のGND電極パターン115〜120と、が備えられている。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
所定面に設けられる駆動信号電極と検出信号電極と、
前記駆動信号電極に連続する駆動信号電極パターンと前記検出信号電極に連続する検出信号電極パターンと、
少なくとも、前記駆動信号電極と前記検出信号電極、または、前記駆動信号電極パターンと前記検出信号電極パターンの間に形成される複数の定電位の電極パターンと、
が備えられていることを特徴とする圧電振動片。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (6件):
2F105BB03
, 2F105BB11
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (4件)
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-387619
出願人:株式会社デンソー
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外力計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-000914
出願人:株式会社村田製作所
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振動型ジャイロスコープ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-217058
出願人:日本碍子株式会社
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