走査型トンネル顕微鏡用探針およびその作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-361807
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168757
出願日： 2000年11月28日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】高導電性および高光透過性を有するとともに、高いプラズモン発光効率を得ることのできる、新しい走査型トンネル顕微鏡用探針およびその作製方法を提供する。【解決手段】光ファイバー探針にITO薄膜および金属薄膜が積層被膜されてなる。

請求項（抜粋）：

光ファイバー探針にITO薄膜および金属薄膜が積層被膜されてなることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡用探針。

IPC (3件)：

G01N 13/12 , G01B 7/34 , G12B 21/04

FI (4件)：

G01N 13/12 D , G01N 13/12 B , G01B 7/34 Z , G12B 1/00 601 B

Fターム (5件)：

2F063AA43 , 2F063EA16 , 2F063EB23 , 2F063FA07 , 2F063FA18

引用特許：

出願人引用 (3件)

審査官引用 (3件)

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