特許

J-GLOBAL ID：200903009812908297

超低屈折率膜及びその作製方法

発明者： 塚原 尚希 ,  村上 裕彦
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (2件)： 北村 欣一 ,  吉岡 正志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-176707
公開番号（公開出願番号）：特開2006-350025
出願日： 2005年06月16日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：

【課題】屈折率を1.2よりもさらに下げ、空気の持つ値に近い超低屈折率膜を提供する。【解決手段】空孔形成物質の界面活性剤として塩化セチルトリメチルアンモニウムを50〜65モル%添加した多孔質シリカ材料前駆体溶液を用いて、シリコン基板上に毎秒500回転でスピン塗布し、1Paの真空中400°Cで焼成して、屈折率が1.097〜1.117でナノメートルサイズの空孔を持つ超低屈折率膜を得た。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

無機材料を主成分とする多孔性薄膜であって、屈折率が1.0以上1.15未満の範囲にある超低屈折率膜。

IPC (2件)：

G02B 1/11 ,  C04B 38/06

FI (2件)：

G02B1/10 A ,  C04B38/06 E

Fターム (6件)：

2K009AA02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC09 ,  2K009CC42 ,  2K009CC47 ,  2K009DD02

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 低屈折率組成物、低屈折率膜、光学多層膜および反射防止膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-347374   出願人：凸版印刷株式会社
• 超低屈折率多孔質SOG膜の作製方法及びこの超低屈折率多孔質SOG膜を用いたディスプレイ用窓材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-359178   出願人：株式会社アルバック
• 高純度で低誘電率のセラミックおよびハイブリッドセラミック薄膜を製造する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-528745   出願人：バッテルメモリアルインスティテュート

審査官引用 (4件)

• 透明導電性基板、発光素子、平面発光板、平面発光板の製造方法、平面蛍光ランプ、プラズマディスプレイ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-072988   出願人：松下電工株式会社, 筒井哲夫
• 超低屈折率多孔質SOG膜の作製方法及びこの超低屈折率多孔質SOG膜を用いたディスプレイ用窓材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-359178   出願人：株式会社アルバック
• 多孔質SOG膜の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-045276   出願人：株式会社アルバック
• 多孔質シリカ膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-032189   出願人：株式会社アルバック