特許
J-GLOBAL ID：200903049341076107
多孔質シリカ膜の形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
北村 欣一
, 吉岡 正志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-032189
公開番号（公開出願番号）：特開2004-143029
出願日： 2003年02月10日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
【課題】機械的強度を備えた多孔質シリカ膜を形成する方法を提供する。【解決手段】界面活性剤として、Du Nouy法表示により0.1重量%濃度及び25°Cにおいて45mN/m以上の表面張力を備えた1種類以上の非イオン性界面活性剤を用い、この非イオン性界面活性剤と加水分解性のアルコキシシラン化合物と水とアルコールとを混合して成る混合溶液を基板上に塗布した後に、この混合溶液中の界面活性剤を分解または燃焼して多孔質シリカ膜を形成する。このときの界面活性剤は、OH(CH2CH2O)x(CH(CH3)CH2O)y(CH2CH2O)xH・・・[化1](x及びyは、それぞれ、1≦x≦185及び5≦y≦70を満たす整数を示す。)示性式[化1]で示されるものが好適である。また、上記混合溶液に、さらに、ジメチルジアルコキシシラン化合物を添加したものを用いても良い。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
加水分解性のアルコキシシラン化合物と水とアルコールと界面活性剤とを用いる多孔質シリカ膜の形成方法において、前記界面活性剤として、DuNouy法表示により0.1重量%濃度及び25°Cにおいて45mN/m以上の表面張力を備えた1種類以上の非イオン性界面活性剤を用い、該非イオン性界面活性剤と前記アルコキシシラン化合物と水とアルコールとを混合して成る混合溶液を基板上に塗布した後に、該混合溶液中の前記界面活性剤を分解または燃焼することを特徴とする多孔質シリカ膜の形成方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
4G072AA25
, 4G072BB09
, 4G072BB15
, 4G072GG03
, 4G072HH30
, 4G072JJ47
, 4G072LL06
, 4G072LL11
, 4G072RR01
, 4G072RR11
, 4G072RR12
, 4G072UU01
, 4G072UU30
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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