ウエハ等精密基板収納容器

発明者： ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：角南孝一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-334460
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142189
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】半導体ウエハ、アルミディスク、液晶表示用ガラスなどの精密基板を複数枚、互いに接触することなく収納し、保管、運搬する精密基板収納容器において、その容器本体と蓋体との気密性の優れた、操作性の良いロック構造を提供する。【解決手段】容器本体の開口縁部にカム挿入口を設け、一方、蓋体10の中空状ラッチ室3内には扇形の締め付けカム8は回動するラッチ機構20を装着させたもので、カムとカム挿入口との接触面積を大きくしてロック力を大にした。また、ラッチ機構20を回動させる回転駆動用プレート7に表面プレートより突出する指掛け突起7c、7cを形成して、該ラッチ駆動装置のない場所においても容易に開蓋できるものにした。さらには、ロックを維持するためのノッチ機構7n、洗浄液の排出口などを設けた。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

ウエハ等の精密基板複数枚を等間隔に収容する容器本体(1)と、その容器本体の開口部周縁にガスケット(12)を介して内嵌合する蓋体(10)と、その蓋体の内面に取り付けて蓋閉じ時に精密基板の外周縁を押圧するフロントリテーナー(11)から構成される精密基板収納容器(30)において、前記容器本体(1)の開口部内周縁にカム挿入口(1b)が4箇所以上開設され、一方、前記蓋体(10)には蓋閉じ時に前記カム挿入口(1b)に対向する側壁面に開口(3a)を設けると共に、該蓋体にはラッチ機構(20)に組み込まれて回動しその円弧状部を前記開口(3a)部に出没させるほぼ扇形の締め付け用カム(8)が内蔵され、該蓋体(10)の表面プレート(4)に露出形成したキー溝(7a)を介して扇形の締め付け用カムを作動させることを特徴とするウエハ等精密基板収納容器。

IPC (3件)：

H01L 21/673 , B65D 25/10 , B65D 85/86

FI (3件)：

H01L21/68 T , B65D25/10 , B65D85/38 R

Fターム (30件)：

3E062AA01 , 3E062AB07 , 3E062AC02 , 3E062FA02 , 3E062FB01 , 3E062FB03 , 3E062FC03 , 3E062FC05 , 3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA08 , 3E096CB03 , 3E096CC02 , 3E096DA01 , 3E096DA17 , 3E096DA23 , 3E096DB01 , 3E096EA02X , 3E096EA02Y , 3E096FA16 , 3E096FA22 , 3E096FA40 , 3E096GA01 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA08 , 5F031EA10 , 5F031EA12 , 5F031EA14

引用特許：

出願人引用 (3件)

FOUPへのFOUPドアの不適切挿入防止システム
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-550295 出願人：エンテグリスケイマンリミテッド
精密基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-230993 出願人：信越ポリマー株式会社
収納容器の蓋体
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-371634 出願人：信越ポリマー株式会社

審査官引用 (6件)

精密基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-230993 出願人：信越ポリマー株式会社
特開平4-367450
ウェハー搬送モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-197594 出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド

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