特許
J-GLOBAL ID：200903009919592837
データ処理装置,検査作業支援システム、およびデータ処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-333518
公開番号（公開出願番号）：特開2006-173589
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【課題】検査条件を決めるための指針となる情報を容易に得るようにし、検査条件決定までの時間を短くして欠陥抽出の効率化を図る。【解決手段】検査装置及び観察装置とネットワークで接続されたデータ処理装置が検査装置と観察装置から出力される欠陥情報や画像情報を自動的に受信し、検査装置から出力される欠陥,画像,特徴量情報と、観察装置で観察した欠陥,画像,特徴量情報との突合せをデータ処理装置で行い、データ処理装置の画面上で整理して並べて表示する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査物の欠陥を検出し欠陥情報を出力する検査装置と、この欠陥情報に基づき前記欠
陥の外観の画像を取得する観察装置との間の情報,画像の受け渡しを行うとともに、前記
検査装置からの前記欠陥情報と前記観察装置からの前記画像を含む欠陥情報とを表示画面
に並べて表示させることを特徴とするデータ処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA50
, 4M106DB05
, 4M106DJ11
, 4M106DJ20
, 4M106DJ21
, 4M106DJ23
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
