特許
J-GLOBAL ID：200903010095644784

マスキング部材

発明者：
土屋 輝直

土屋 輝直 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-070847
公開番号（公開出願番号）：特開2003-272838
出願日： 2002年03月14日
公開日（公表日）： 2003年09月26日
要約：
【要約】【課題】 有機EL素子の低分子有機層及び陰極の蒸着パターニング形成を、精度良く、安定的にできるマタルマスク部材を提供する。【解決手段】 蒸着作製するパターンに対応して所定の開口をその一方の面側に設けた蒸着物質を通過させるための貫通孔を有する板状のメタルマスク部を、枠体に固定したもので、メタルマスク部は、金属薄板からなり、蒸着作製するパターンに対応して、それぞれ貫通孔を有する、第1のマスク部と第2のマスク部とを積層してなり、メタルマスク部の蒸着物質を通過させるための各貫通孔は、第1のマスク部の貫通孔部と第2のマスク部の貫通孔部とから形成され、第1のマスク部の貫通孔部の第2のマスク側ではない外側の開口を、作製するパターンに対応した所定の開口とするものである。
請求項（抜粋）：
蒸着処理を施す蒸着工程において用いられるマスキング部材であって、蒸着作製するパターンに対応して所定の開口をその一方の面側に設けた蒸着物質を通過させるための貫通孔を有する板状のメタルマスク部を、枠体に固定したもので、メタルマスク部は、金属薄板からなり、蒸着作製するパターンに対応して、それぞれ貫通孔を有する、第1のマスク部と第2のマスク部とを積層してなり、メタルマスク部の蒸着物質を通過させるための各貫通孔は、第1のマスク部の貫通孔部と第2のマスク部の貫通孔部とから形成され、第1のマスク部の貫通孔部の第2のマスク側ではない外側から見た場合の最小開口を、蒸着作製するパターンに対応した所定の開口とするものであることを特徴とするするマスキング部材。
IPC (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H04N 5/66 ,  H05B 33/14
FI (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 A ,  H04N 5/66 Z ,  H05B 33/14 A
Fターム (13件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  5C058AA12 ,  5C058BA35
引用特許：
審査官引用 (4件)
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